高纯氨和高纯三甲基镓规模化生产技术

摘要

高纯氨和高纯三甲基镓是金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)技术生产第三代半导体材料-氮化镓的关键支撑材料。金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)技术制备氮化镓(GaN)，要求所使用的高纯氨和高纯三甲基镓必需高纯超净，其纯度水平为99.9999％(6N)。本文介绍了高纯氨和高纯三甲基镓的关键技术及其应用。