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中科科仪真空检漏事业的发展和展望

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本文主要论述中科科仪在四十余年中研制的氦质谱检漏仪及辅助工艺设备的简单历程和主要检漏仪的性能介绍,谈及了今后的发展趋向和有自主知识产权的先进产品.

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来源
《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》|2004年|74-76|共3页
会议地点贵阳
作者
周小弟;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 F426.67;TB774.3;
关键词
真空检漏; 氦质谱检漏仪; 辅助设备; 仪器仪表工业;

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