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超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究

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本文分析了微机械变形镜MEMS驱动器的种类及其特点,并在磁致伸缩薄膜具有低磁场下的大形变、低功耗、高响应速度等特性基础上,提出了超磁致伸缩薄膜MEMS驱动器的原理.由于TbFe磁致伸缩薄膜在外加磁场作用下,微桥将在水平方向上产生伸长变形,从而引起微桥在垂直方向上发生位移.根据这一原理,设计了一种用于微机械变形镜MEMS驱动器的超磁致伸缩薄膜驱动结构,同时提出制作磁致伸缩薄膜连续式微机械变形镜的工艺流程.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|151-155|共5页
会议地点大连
作者
赵泽宇; 侯德胜; 谌贵辉; 西昌学院; 张万里;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺及设备;
关键词
超磁致伸缩薄膜; 微机电系统; 微机械变形镜; 驱动器; 微桥;

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