首页> 中文会议>第十届全国青年材料科学技术研讨会 >CVD方法制备ZnSe系统中尾气的处理

CVD方法制备ZnSe系统中尾气的处理

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

CVDZnSe是目前光学性能最好的红外光学材料之一.但在制备CVDZnSe时,尾气中未反应完全的剧毒硒化氢气体,对操作人员及环境的危害很大.采用逆流填料塔来吸收CVD方法制备ZnSe系统中的剧毒尾气硒化氢.为加快传质速率,提高吸收率,选用NaOH溶液作吸收液;利用H2Se气体与此溶液反应,降低气体在水溶液中的浓度,加大传质推动力;选择了具有高效分离因子的填料以减小塔身的高度和直径.并且对循环吸收液进行氧化,双重过滤等处理.最后用型号为TX-FMD的H2Se检测仪测量处理后的尾气中H2Se气体的含量,达到排放要求.

著录项

来源
《第十届全国青年材料科学技术研讨会》|2005年|738-741|共4页
会议地点长沙
作者
石红春; 北京国晶辉红外光学科技有限公司; 朱时珍; 鲁泥藕; 霍承松; 赵永田; 杨海;
展开▼
作者单位

中国有色金属学会;

中国材料科学研究会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料和工作物质;塔式化工设备;
关键词
硒化氢气体; 逆流填料塔; 化学吸收; 传质; 红外光学材料; ZnSe系统;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. CVD方法制备ZnSe系统中尾气的处理 [J] . 石红春 ,朱时珍 ,鲁泥藕 . 稀有金属 . 2005,第5期
2. MOCVD法制备GaN基LED外延尾气处理技术进展 [J] . 欧阳欣 . 轻工机械 . 2013,第003期
3. CVD工艺尾气处理系统 [J] . 李晓峰 . 微电子学 . 1995,第3期
4. 焚烧行业中半干法尾气处理废水中总磷的处理方法的探究 [J] . 宋海范 . 广东化工 . 2015,第004期
5. SCR尾气后处理系统安装方法及注意事项 [J] . 张洪生 ,鹿顺江 ,何理华 . 重型汽车 . 2021,第002期
6. MOCVD尾气处理、回收纯化和循环使用 [C] . WU Yanmin ,吴彦敏 . 全国特种气体第十八次年会 . 2014
7. Si衬底上低压MOCVD生长ZnS，ZnSe薄膜和ZnSe量子点 [A] . 赵晓薇 . 2004

CVD方法制备ZnSe系统中尾气的处理

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅