喷嘴角度和摇摆频率对蚀刻均匀性的影响

摘要

本文分析了蚀刻机喷嘴角度和摆动频率对蚀刻均匀性的影响,并从理论上推导出其相互之间的联系。在此基础上,选择合适的喷嘴角度,对蚀刻机喷淋系统进行改造,改善了蚀刻均匀性。