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PZT厚膜的制备及其热释电性能研究

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相比薄膜而言,厚膜具有更明显的电学效应.PZT厚膜材料制成的器件不仅工作电压低、使用频率高、能与半导体集成电路兼容,而且电学性能优异(与体材料器件相近).PZT厚膜材料是典型的热释电材料,作者结合自己的研究工作分别从制备工艺、热释电性能的测试以及应用等方面,介绍了目前PZT厚膜材料在热释电器件的研究进展以及存在的问题

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来源
《第十一届全国电介质物理、材料与应用学术会议》|2005年|481-484|共4页
会议地点成都
作者
蒲朝辉; 刘洪; 徐鹏; 蔡露; 肖定全; 朱建国;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电学性质;
关键词
PZT厚膜; 热释电材料; 溶胶凝胶; 电学性能; 制备工艺;

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