类金刚石膜

摘要

类金刚石(DLC)膜是由对应于金刚石结构的sp3杂化轨道键合的碳和对应于石墨结构的sp2杂化轨道键合的碳不规则地互相混合而成的一种非晶薄膜,可大致分为只有碳组成的膜和含氢的膜.本文论述了类金刚石膜的主要特性、应用现状以及今后的展望。