光刻与光刻胶

摘要

微电子技术可算得上是人类有年史以来最卓越的技术,微电子技术的发展迅猛异常,迄今为止,在人类的科学技术史还没有一种技术象它这样地真正做到日新月异.由于它的发展,计算机也以极高的速度更新换代,现在计算机已进入千家万户,成为家用电器的一部分,计算机的影响已遍及每一个经济领域和人们生活的每一个方面.微电子技术是一个国家综合实力的体现,是新技术革命的主角,其中光敏高分子对微电子技术的发展起着十分重要的作用,光刻和光刻胶是微电子中的关键技术和关键材料.本文内容包括： 1 、计算机和集成电路的发展 2、 集成电路的制造--光刻与光刻胶 3 、深紫外光光刻技术和光刻胶的发展 4、深紫外光刻(DUV)与化学增幅抗蚀剂