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基于硅微梳齿型谐振器的MEMS动态测试研究

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本文在利用激光多普勒对硅微梳齿型谐振器多阶振动频率进行提取的基础上,结合频闪显微干涉测试技术对其谐振频率及其振幅进行了动态测试,并根据测试结果推导了谐振器的动态应力值.实验测试结果及应力推导结果与ANSYS的仿真结果相符合.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1531-1534|共4页
会议地点南京
作者
郑丽娜; 薛晨阳; 张文栋; 熊继军; 张斌珍; 孔繁华;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电气测量技术及仪器;
关键词
谐振频率; 振幅; 动态测试; 谐振器;

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