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微测辐射热计微桥结构性能分析

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摘要

微测辐射热计的设计难点是起支撑作用的微桥结构的设计.本文重点研究了现在流行的几种微桥结构,对其性能参数进行分析比较,提出了多层结构的优点.并使用有限元分析软件对不同微桥进行结构分析,以比较其稳固性.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1728-1730|共3页
会议地点南京
作者
李素; 吴志明; 蒋亚东; 杨晓瑜; 李世彬;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光学集成电路（集成光路）;
关键词
微测辐射热计; 微桥结构; 热参数; 有限元;

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