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紫外LED芯片透明电极的研制

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透明电极的制作是LED管芯制作过程的关键技术,而由于紫外LED在其不同波段范围对可见光和紫外辐射的透过和吸收作用不同,其透明电极的设计就显得更为复杂.本文主要通过对氧化铟锡(indium-tin oxide,1TO)透明电极厚度的选取与ITO薄膜吸收性原理、薄膜增透性原理及方阻计算原理之间关系的分析,试验方法的设计,试验结果的比对,分析了ITO薄膜厚度的变化对紫外LED光电性能的影响,阐述了ITO透光电极在波长370-420nm的浅紫外波段的应用,供从事紫外LED管芯制造的同仁借鉴参考.

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来源
《第十四届全国LED产业发展与技术研讨会》|2014年|27-30|共4页
会议地点安徽马鞍山
作者
Lian Dazhen; 廉大桢; Wang Shenglian; 王省莲; Yang Jianke; 杨建科; Liu Dawei; 刘大为;
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作者单位

中国光学光电子行业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN312.8:TN303;
关键词
紫外发光二极管芯片; 透明电极; 制备工艺; 光电性能;

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