微光机电系统制造技术探索

摘要

本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)制造技术的现状,主要针对硅微机械加工技术和LIGA技术,讲述了这些技术的原理和工艺流程。最后指出了MOEMS制造技术的发展趋势。