超短脉冲激光烧蚀半导体材料数值模拟

摘要

采用有限差分法对超短脉冲激光烧蚀半导体材料的过程进行了数值模拟，得到了超短激光辐照下半导体表面温度和载流子浓度的分布情况，讨论了激光参数对半导体表面热效应和载流子浓度分布的影响。结果表明：载流子浓度和半导体温度随着激光能量密度增大而增加；在重复脉冲激光作用于半导体表面时，载流子浓度和热的累积效应都比较明显。