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第一章 绪论
1.1 研究背景
1.1.1 飞秒脉冲激光技术发展史
1.1.2 飞秒脉冲激光技术的应用
1.2 研究现状
1.3本章小结
第二章 超短脉冲激光烧蚀的机理
2.1 激光产生的原理
2.2 超短脉冲激光的加热与烧蚀机理
2.2.1 超短脉冲激光加热机理
2.2.2 长脉冲激光的烧蚀机理
2.2.3 超短脉冲激光的烧蚀机理
2.2.4 国内外研究进展
2.3 本章小结
第三章飞秒激光加工 MEMS器件材料的烧蚀微观理论模型
3.1 Fokker-Planck方程
3.1.1 自由电子弛豫过程的理论描述
3.1.2 福克尔--普朗克方程
3.1.3 Fokker-Planck方程的推导过程
3.1.4 带有Rosenbluth势函数的Fokker—Planck碰撞项的推导过程
3.1.5 Rosenbluth势函数表示的Fokker--Planck碰撞算子简化形式推导过程
3.1.6 等离子体吸收效应对飞秒激光加工MEMS器件材料的影响
3.2 由Fokker—Planck方程表达的耦合理论模型
3.2.1 自由电子分布的动理论方程模型
3.2.2 自由电子分布的动理论方程模型的无量纲化
3.3 耦合理论模型的数值解法
3.3.1 偏微分方程及有限差分法
3.3.2 Runge—Kutta方法
3.3.3 超松弛迭代法
3.3.4 无量纲非线性Fokker—Planck方程的离散化
3.4 本章小结
第四章 理论模型的模拟结果与实验结果的比较及结论
4.1 超短脉冲激光烧蚀二氧化硅材料的数值模拟结果
4.2 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
致谢
参考文献
作者简介
东南大学;