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陈波; 尼启良; 王君林;
同济大学;
空间光学; 软X射线; 极紫外; 长春光机所;
机译:精密成像多层光学器件,用于软X射线和极紫外波段
机译:200 nm周期临界角透射光栅在软X射线和极紫外波段的衍射效率
机译:纳米级压电表面调制,适用于自适应极紫外线和软X射线光学
机译:SKLAO的极紫外/软X射线光学系统的开发
机译:开发用于飞秒/阿秒光源的科学研究用的极紫外和软X射线多层光学器件。
机译:强耦合至中红外分子模式的三波段光学纳米天线的热等离子体研究
机译:极紫外和软X射线激光器的研究
机译:用于反射光学元件,特别是用于软X射线和极紫外波长范围的清洁方法以及用于极紫外光刻设备的清洁方法包括加热反射光学元件
机译:极紫外光或软X射线范围的短波长光源装置,以及产生极紫外光或软X射线范围的短波长光源的方法
机译:极紫外和软X射线光学器件涂层
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