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甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响

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在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸减小,晶界变得模糊,结晶性下降,非金刚石相增多,过高的甲烷流量导致掺硼金刚石薄膜的球状生长.

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来源
《2008年全国材料研讨会——材料表面与界面分会》|2008年|28-31|共4页
会议地点广州
作者

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作者单位

中国材料研究学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
掺硼金刚石; 多晶薄膜; 形态生长; 扫描电子显微镜; 拉曼光谱;

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