Fe-Ni合金薄膜组成准确测量的X射线光电子能谱研究

摘要

本文利用XPS技术开展了Fe-Ni合金薄膜组成的准确测量研究，主要考察了不同的相对灵敏度因子来源对测量结果的影响。当利用标准物质获得的相对灵敏度因子来计算测试样品的元素组成时，可以获得很好的准确定量结果。