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阮文彬;
中国仪器仪表学会;
中国电子学会;
中国航空学会;
中国生物医学工程学会;
微电子机械加工; 压阻式加速度计; 梁膜结合结构; 有限元分析;
机译:基于MEMS技术的压阻三轴加速度计的设计与测量。
机译:基于MEMS技术的压阻三轴加速度计的双周期桥检测。
机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析?
机译:具有梁膜组合结构的MEMS压阻式加速度计的设计与制造
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析
机译:基于压阻式mems的加速度计设计,与无线传感单元集成,用于结构监测
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试
机译:用相同的桥式压电电阻带压阻式加速度计传感器的桥式结构和制造方法的制造方法
机译:压阻式加速度计和系统,包括相同的
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