带有均压槽的静压气浮导轨的气锤自激分析

摘要

静压气浮导轨具有运行平滑、精度高等优点,从而广泛应用于精密和超精密机械加工等场合.但是如果气浮导轨的结构设计不合理,特别是开设均压槽时,由于增加了气膜内的气容,常常会在气浮导轨的运行过程中出现气锤自激振动.本文针对带均压槽的静压气浮导轨,建立导轨活动件的动力学方程,再运用小扰动方法和流量连续性方程得到了气锤自激振动的稳定性判别方程.通过求解稳定性判别方程,发现了气锤自激振动发生的一些规律.通过计算表明,利用本文的方法可以得到不发生气锤自激振动的均压槽深度、气膜间隙、节流孔直径等导轨设计参数.