超精密机床流体悬浮主轴中的关键科学问题

摘要

超精密机床是国防工业、航空航天工业和民用工业中超精密光学透镜等关键零件的核心加工装备,是事关国防安全和高科技民用工业的战略性装备.超精密机床的工件主轴、刀具主轴和转台均为液体或气体等流体介质悬浮的主轴.其精度高,减振性好,磨损小,对机床的加工精度具有决定性影响.如何保证并进一步提高流体悬浮主轴的精度、刚度和速度等综合性能,一直是超精密机床技术研究的焦点和难点.提出超精密机床流体悬浮主轴中的关键科学问题主要有回转精度形成机理，静态动态和热态耦合特性研究，电机和驱动系统与主轴系统的耦合特性，精密测试技术，主轴在超精密加工过程中与工件系统耦合特性，可控流体悬浮主轴技术等。