アクアドライブシステムの超精密工作機械への応用：超精密工作機械用のスピンドルと直動テーブルの開発

摘要

超精密工作機械への利用を目的に開発された、スピンドルと直動テーブルの開発事例が各装置の基本性能とともに紹介されている。これらの装置は、高い連動精度を実現するために、いずれも水静圧軸受、水圧駆動ならびに水冷却機能を有することを特徴としている。