一种基于铬膜玻璃的光刻精缩系统的研究与实现

摘要

数字光刻技术是下一代光刻的先进代表。本文提出了一种利用DMD(数字微反射镜装置)进行数字掩模光刻成像，在铬膜玻璃上制作二元光学掩模。将设计好的CAD电脑图形文件，输出到基于DMD的数字掩模成像系统，经过曝光、显影、腐蚀及去胶即可得到需要的掩模。此掩模可用于光刻精缩系统，在晶圆片上得剑比掩模图形上小得多的图案，以达剑更高分辨率的要求。