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飞秒激光在玻璃材料中直写“类光子晶格波导”方法

摘要

本发明公开了一种飞秒激光在玻璃材料中直写“类光子晶格波导”方法。用飞秒激光在玻璃材料中直写出多条轨迹形成波导,轨迹为径向尺寸为亚微米或微米量级的轨迹,多条轨迹形成“类光子晶格波导”,轨迹贯穿于玻璃材料而两端延伸到玻璃材料两侧端面;若干轨迹组成一条波导,通过调整波导中各个轨迹的排布、路径、数量以及波导端面的轨迹排布图形,进而调整工作模式和功能。本发明方法达到控制波导折射率分布,波导具有折射率分布均匀可控、插入损耗低的特点,能够在1.0微米或亚微米分辨率设计轨迹排列,实现对模场的振幅、偏振和相位的分布的控制。

著录项

  • 公开/公告号CN113960893A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 之江实验室;浙江大学;

    申请/专利号CN202111261547.3

  • 申请日2021-10-28

  • 分类号G03F7/20(20060101);G02B6/136(20060101);

  • 代理机构33200 杭州求是专利事务所有限公司;

  • 代理人林超

  • 地址 310023 浙江省杭州市余杭区文一西路1818号人工智能小镇10号楼

  • 入库时间 2023-06-19 13:58:51

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