双频激光干涉仪

摘要： 本文着重介绍了采用量块、双频激光干涉仪和多面棱体、光电自准直仪对三坐标测量机及配套光学转台在校准过程中因各项标准设备引入的不确定度分量的分析和评定。通过对校准过程中标准器的选用和分析计算,证实了标准器在该类设备日常校准中的可行性和可靠性,也确保了实验室校准能力工作的开展。

摘要： 针对当前机械装配装置可靠性低、安全性差以及装配效率低、精度低的问题,在对机械装配装置结构及原理简单概述的基础上,着重对其电气系统和控制系统进行优化改进;同时,对改进后的电气控制系统的参数及精度进行重新设定和调整,为从根本上提升机械装配装置的可靠性、安全性、装配效率和装配精度奠定了扎实的理论基础.

摘要： 双频激光干涉仪测量系统是以激光波长为测量基准,在空气中传播的激光波长会受到空气折射率变化影响,分析了现有的激光波长补偿方法,重点对间接补偿法中的Edlen公式法进行了研究.搭建了一套双频激光干涉仪测量的实验平台,并对不同光程下实验平台的稳定性进行了测试,结果表明:实验平台的测量值能达到m量级,具有较好的稳定性.采用高精度的温度传感器和压力传感器实时测量环境参数,完成Edlen公式法的补偿实验,实验结果表明:当存在一定外界环境影响时,Edlen公式法的纳米级测量补偿效果能提升10-10m量级;在实际应用中的微米级环境测量情况下时,补偿效果能提升10-8m量级.

摘要： 为了有效开展长距离光电测距类仪器的室内检定工作,在50 m高精度导轨上利用1组平面反射镜进行光路折叠,搭建了100m室内基线场.对基线系统的测量误差进行了分析,考虑各项误差的调整精度,将误差分析结果应用到实际光路调整过程中,分析得到对基线长度影响更显著的误差量,并对其进行了控制和调整,提高测量光路的平行性调整精度,最后选择双频激光干涉仪作为长度基准开展验证实验.实验结果表明:通过光路折叠方法可以实现2倍光程倍增,基线系统的精度较高,可进行连续测量,有效地解决了室内基线建立过程中所存在的检测效率低、可重复性差等技术问题.

摘要： DL1000精密测距仪为苏州第一光学仪器厂生产的一款近距离测距仪，其采用相位法测距原理，在配合使用其合作目标时，0．05—10m范围内测距精度优于0．3mm。本文在测试其测距范围和内符合精度的基础上，利用双频干涉仪检校系统对其外符合精度进行了检定与分析。而后通过拟合和内插的方法建立了偏差修正模型，进一步提高其测量精度。实验结果表明，经过修正后的测距精度可达0．1mm。

摘要： 本文根据浮子式液位计原位校准系统的要求与苏州第一光学仪器厂合作生产出一款短距离高精度测距仪,它采用相位法测距原理,在使用其配套棱镜时,10m范围内测距精度可达0.3mm。本文在分析和评定测距仪内符合精度的基础上,利用双频激光干涉仪校准系统,对仪器的精度进行了检定和分析,并通过三次样条插值等方法对测距误差进行拟合分析,利用拟合函数对测距误差进行改正,进一步提高测距仪的精度。最后通过验证,经过改正后的测距仪精度可达0.1mm。

摘要： 在日常的工作中,对于大尺寸游标类量具的检定存在不少困难.针对这一难题,本文创造性地提出了利用双频激光干涉仪进行大尺寸高度卡尺示值误差检定的解决方案,并对具体的检定原理、检定装置的结构、检定结果的处理以及不确定度评估等进行了详细地阐述.

摘要： 介绍了采用双频激光干涉仪作为标准器,对引伸计标定器的示值误差进行校准的方法,并阐述了校准工作中的数据处理过程.与传统的校准方法相比,本文的工作最大限度地消除了校准过程中的各类测量误差并提高了工作效率.

摘要： 研究了以双频激光干涉仪为位移标准器的校准方法，分别介绍了校准装置各硬件组成部分以及软件设计中各模块功能实验证明这种方法具有良好的实际应用价值。

摘要： 在24m大长度检测平台上,通过对导轨改造,研制具有自动化控制以及精确定位的移动平台,利用远程计算机自动化操控,实时获取双频激光干涉仪数据,实现自动化采集环境参数的功能.介绍了系统的设计方案、结构组成、关键技术以及系统校准结果的实验验证.

摘要： 使用双频激光干涉仪作为检测手段,采用机床检验的国际标准ISO230作为评判标准,结合了某公司2个企业的具体实例,阐述了企业对数控机床精度校正认知的2个误区,以及可能带来的严重后果。同时也提供了具体机床维护方法,用来保证数控机床的精度始终在可控范围内。

摘要： 室内大长度测量系统是通过对多单元集成协调控制,组成无阿贝误差的多功能大长度激光测量标准装置,室内大长度测量系统由精密平台导轨系统、空间三角形激光测长单元、环境参数测量系统及实时修正系统单元、集中控制和驱动单元、瞄准及图像采集单元、软件单元构成.其中精密平台导轨系统采用精密花岗石导轨和运动滑块等作为执行组件.室内大长度测量系统预留激光干涉仪数据接口,以便与三台独立激光干涉仪和温度传感器整合,实现50m测量范围的位移测量,并可以同时监控系统俯仰、扭摆造成的阿贝测量误差,实现测量值修正,组成自动控制测量系统.该测量系统主要开展激光跟踪仪、激光测距仪、激光干涉仪、全站仪、标准钢卷尺、水准标尺、三等金属线纹尺大尺寸量具等大长度精密测量仪器的室内检定和校准.整套装置的测量不确定度U=(0.3+0.3L)μm,(k=2),定位国际先进水平.

摘要： 室内大长度测量系统是通过对多单元集成协调控制,组成无阿贝误差的多功能大长度激光测量标准装置,室内大长度测量系统由精密平台导轨系统、空间三角形激光测长单元、环境参数测量系统及实时修正系统单元、集中控制和驱动单元、瞄准及图像采集单元、软件单元构成.其中精密平台导轨系统采用精密花岗石导轨和运动滑块等作为执行组件.室内大长度测量系统预留激光干涉仪数据接口,以便与三台独立激光干涉仪和温度传感器整合,实现50m测量范围的位移测量,并可以同时监控系统俯仰、扭摆造成的阿贝测量误差,实现测量值修正,组成自动控制测量系统.该测量系统主要开展激光跟踪仪、激光测距仪、激光干涉仪、全站仪、标准钢卷尺、水准标尺、三等金属线纹尺大尺寸量具等大长度精密测量仪器的室内检定和校准.整套装置的测量不确定度U=(0.3+0.3L)μm,(k=2),定位国际先进水平.

摘要： 室内大长度测量系统是通过对多单元集成协调控制,组成无阿贝误差的多功能大长度激光测量标准装置,室内大长度测量系统由精密平台导轨系统、空间三角形激光测长单元、环境参数测量系统及实时修正系统单元、集中控制和驱动单元、瞄准及图像采集单元、软件单元构成.其中精密平台导轨系统采用精密花岗石导轨和运动滑块等作为执行组件.室内大长度测量系统预留激光干涉仪数据接口,以便与三台独立激光干涉仪和温度传感器整合,实现50m测量范围的位移测量,并可以同时监控系统俯仰、扭摆造成的阿贝测量误差,实现测量值修正,组成自动控制测量系统.该测量系统主要开展激光跟踪仪、激光测距仪、激光干涉仪、全站仪、标准钢卷尺、水准标尺、三等金属线纹尺大尺寸量具等大长度精密测量仪器的室内检定和校准.整套装置的测量不确定度U=(0.3+0.3L)μm,(k=2),定位国际先进水平.

摘要： 室内大长度测量系统是通过对多单元集成协调控制,组成无阿贝误差的多功能大长度激光测量标准装置,室内大长度测量系统由精密平台导轨系统、空间三角形激光测长单元、环境参数测量系统及实时修正系统单元、集中控制和驱动单元、瞄准及图像采集单元、软件单元构成.其中精密平台导轨系统采用精密花岗石导轨和运动滑块等作为执行组件.室内大长度测量系统预留激光干涉仪数据接口,以便与三台独立激光干涉仪和温度传感器整合,实现50m测量范围的位移测量,并可以同时监控系统俯仰、扭摆造成的阿贝测量误差,实现测量值修正,组成自动控制测量系统.该测量系统主要开展激光跟踪仪、激光测距仪、激光干涉仪、全站仪、标准钢卷尺、水准标尺、三等金属线纹尺大尺寸量具等大长度精密测量仪器的室内检定和校准.整套装置的测量不确定度U=(0.3+0.3L)μm,(k=2),定位国际先进水平.

摘要： 室内大长度测量系统是通过对多单元集成协调控制,组成无阿贝误差的多功能大长度激光测量标准装置,室内大长度测量系统由精密平台导轨系统、空间三角形激光测长单元、环境参数测量系统及实时修正系统单元、集中控制和驱动单元、瞄准及图像采集单元、软件单元构成.其中精密平台导轨系统采用精密花岗石导轨和运动滑块等作为执行组件.室内大长度测量系统预留激光干涉仪数据接口,以便与三台独立激光干涉仪和温度传感器整合,实现50m测量范围的位移测量,并可以同时监控系统俯仰、扭摆造成的阿贝测量误差,实现测量值修正,组成自动控制测量系统.该测量系统主要开展激光跟踪仪、激光测距仪、激光干涉仪、全站仪、标准钢卷尺、水准标尺、三等金属线纹尺大尺寸量具等大长度精密测量仪器的室内检定和校准.整套装置的测量不确定度U=(0.3+0.3L)μm,(k=2),定位国际先进水平.

摘要： 光学角规偏向角的高精度标定是一项基础性的研究工作,由于原有的测试仪器和手段的限制,制约了光学角规规程的颁布和推广.本文介绍的基于等厚干涉测量光学角规偏向角的理论,采用双正交光路的双频激光干涉纳米测长技术,一路透过光学角规测出角规移动时的光程变化量,另一路测出光学角规移动量的方法,根据严格的偏向角计算模型,实现标准光学角规偏向角的测量.此方法的精度高,测量范围在2″～1′,测量不确定度可达到0.03″(k=2).通过抽样与NIST美国国家标准与技术研究院比对测量,验证了本文研制的仪器在测量光学角规的量值与NIST相符,测量不确定度优于NIST.光学角规已在计量部门推广应用,实现了高精度小角度的计量传递与溯源。

摘要： 本发明公开了一种斐索激光干涉仪标准镜头以及斐索激光干涉仪。该斐索激光干涉仪标准镜头包括：光阑及同轴设置的标准镜头主体，所述标准镜头主体包括面向所述光阑的第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面上设置有中心对称的衍射环。本发明提供的斐索激光干涉仪标准镜头以及斐索激光干涉仪具有结构简单，成本低的优点。

摘要： 本发明提供一种能够更加准确地对采样信号进行解调且易于小型化的激光干涉仪以及激光干涉仪的控制方法。激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，并生成包括调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光为所述第一激光被对象物反射而生成的包含采样信号的光；解调电路，其执行根据所述受光信号对所述采样信号进行解调的解调处理，所述解调电路间歇地执行所述解调处理。

摘要： 提供激光干涉仪及激光干涉仪的控制方法，能够与激光光源的种类无关地精度良好地测量源自测定对象物的信息。激光干涉仪的特征在于，具备：激光光源，射出出射光；光分割器，将出射光分割为第一分割光和入射到测定对象物的第二分割光；光调制器，配置在第一分割光所行进的光路，将第一分割光调制为频率不同的参照光；光路长度变更部，设置在光分割器与光调制器之间，变更作为光分割器与光调制器之间的光路长度的第一光路长度；受光元件，接受出射光由测定对象物反射而生成的物体光与参照光的干涉光，输出受光信号；以及控制部，根据作为光分割器与测定对象物之间的光路长度的第二光路长度，来控制光路长度变更部的动作。

摘要： 本发明公开了一种斐索激光干涉仪标准镜头以及斐索激光干涉仪。该斐索激光干涉仪标准镜头包括：光阑及同轴设置的标准镜头主体，所述标准镜头主体包括面向所述光阑的第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面上设置有中心对称的衍射环。本发明提供的斐索激光干涉仪标准镜头以及斐索激光干涉仪具有结构简单，成本低的优点。

摘要： 本发明公开了一种高精度的利用相互正交的两个双频激光干涉仪的光学角规测试标定仪，包括主控计算机1、双频激光干涉仪A3及其按光路方向依次放置的分光镜2、静止反射镜4和移动反射镜7，与双频激光干涉仪A3光路相互垂直放置的双频激光干涉仪B13，依次按双频激光干涉仪B13光路放置的长基线分光镜11、长基线反射镜6、光程补偿平行玻璃板5和被测光学角规9，还包括可使被测光学角规9沿主截面方向的移动的精密平移台8、装调光学角规主截面时的微小转动精密角位移台10以及步进电机控制箱12。本发明具有如下显著优点：通过该发明装置测量光学角规偏向角在2″-10″的测量范围内，测量精度可达到0.02″，极大提高了光学角规偏向角的测角精度。采用相互正交的双频激光干涉仪测角，减少了光学材料折射率和干涉条纹判读等其他因素对测角精度的影响。

摘要： 本发明公开一种可同时测量滚转角和直线度的双频激光干涉仪，包括双频激光头和中性分光镜，在中性分光镜透射或反射形成的第一测量光路上依次设置第一偏光分束镜、第二偏光分束镜和基准反射镜，在中性分光镜反射或透射形成的第二测量光路上依次设置平面反射镜以及第一偏光分束镜、第二偏光分束镜和基准反射镜，第二偏光分束镜、第一偏光分束镜和第一偏振光电接收器/第二偏振光电接收器还依次位于第一测量光路/第二测量光路从基准反射镜反射后返回光的光路上。本发明能同时完成滚转角和直线度的的测量，不仅光学零件数目减少，而且调整过程的工作量减半，而且可以消除由于第一测量光和第二测量光不平行所引起的滚转角误差，使测量精度大大提升。

摘要： 本发明公开了一种高精度的利用相互正交的两个双频激光干涉仪的光学角规测试标定仪，包括主控计算机1、双频激光干涉仪A3及其按光路方向依次放置的分光镜2、静止反射镜4和移动反射镜7，与双频激光干涉仪A3光路相互垂直放置的双频激光干涉仪B13，依次按双频激光干涉仪B13光路放置的长基线分光镜11、长基线反射镜6、光程补偿平行玻璃板5和被测光学角规9，还包括可使被测光学角规9沿主截面方向的移动的精密平移台8、装调光学角规主截面时的微小转动精密角位移台10以及步进电机控制箱12。本发明具有如下显著优点：通过该发明装置测量光学角规偏向角在2″－10″的测量范围内，测量精度可达到0.02″，极大提高了光学角规偏向角的测角精度。采用相互正交的双频激光干涉仪测角，减少了光学材料折射率和干涉条纹判读等其他因素对测角精度的影响。

摘要： 本发明提供一种双频激光干涉仪，涉及激光干涉仪技术领域。该基于一种双频激光干涉仪，包括调节架和双频激光干涉仪体，所述调节架的上端四周均设置有调节槽，所述第二电动推杆的上端设置有转动架，所述转动架的上端中部设置有转动槽，所述转动槽的内部下端设置有第二电动机，所述移动架的上端中部设置有移动槽，所述移动槽的内部前端设置有第一电动机，所述第一电动机的一端延伸有电机轴且电机轴的一端设置有丝杠，所述丝杠贯穿设置有移动块，所述移动块的上端设置有操作台，所述操作台的上端前后侧均设置有限位架，所述双频激光干涉仪体设置在限位架之间。通过该结构，可进行便捷高效对双频激光干涉仪操作使用。

摘要： 本实用新型涉及激光干涉仪技术领域，尤其涉及一种高精度双频激光干涉仪。其技术方案包括：壳体和主体，所述壳体内部一侧位置处安装有设备室，所述壳体内部背离设备室一侧位置处安装有散热室，所述设备室内部中间位置处安装有主体，所述主体一侧中间位置处安装有激光头，所述激光头设置于壳体外表面。本实用新型解决了现有装置在使用时产生较大热量，导致干涉仪温度升高，无法对其快速降温，干涉仪极易在高温作用下损坏，使用寿命不佳，且干涉仪多使用于机械加工场所，机械运行振动较大，干涉仪自身减振机构简单，减振效果较差，极易导致光学零件损坏的问题，提高了激光干涉仪冷却效率，从而提高激光干涉仪的使用寿命。

摘要： 本实用新型公开了一种正交脉冲双频激光干涉仪，涉及正交脉冲双频激光干涉仪技术领域，包括激光干涉仪，激光干涉仪的下方设置有防护底座，防护底座的两侧均活动连接有移动防护板，移动防护板的两侧均固定连接有限位挤压块，通过设置挤压棒和移动防护板，使用时，挤压棒将下压连接弹簧，利用连接弹簧能够对激光干涉仪进行缓冲，进而对激光干涉仪进行防护，当激光干涉仪侧面与地面接触时，移动防护板将使得限位弹簧收缩形变，之后限位弹簧将对移动防护板进行缓冲，进而对激光干涉仪进行防护，故而该正交脉冲双频激光干涉仪能够避免因掉落在地面上而使其内部元件以及表面产生的损坏，进而提高了该正交脉冲双频激光干涉仪的使用寿命。