MEMS传感器

摘要： 近日,思恩半导体湿法制程设备和微电子自动化设备项目通过“云签约”形式,顺利落户常熟经开区。记者了解到,思恩半导体项目由上海思恩装备科技股份有限公司投资建设,项目总投资5000万元,厂房面积4000平方米。一期开展半导体湿法制程设备和微电子自动化设备研发及产业化;二期将组建微电子自动化生产线,生产精密陶瓷,主要用于麦克风阵列、微型扬声器、MEMS传感器及其他电子元器件。两期全面达产后,预计年销售额可超亿元。

摘要： 针对传统运动辅助训练系统存在的运动辅助训练方法匮乏、教练的指导效率低的问题,文中提出一种基于MEMS传感器的运动辅助训练系统。利用MEMS传感器的工作原理,通过运动辅助训练系统逻辑框架设计和运动辅助训练传感器设计完成系统的硬件设计。同时,通过提取运动轨迹特征并结合卡尔曼滤波方法,对运动员手臂运动姿态角进行计算,对运动员姿态估计算法进行设计,最终完成系统的软件设计,从而实现运动辅助训练系统的设计。实验测试结果表明,基于MEMS传感器的运动辅助训练系统不仅可以增加运动辅助训练方法的数量,还可以提高教练的指导效率,从而大大提高运动辅助训练系统的性能。文中设计系统对运动捕捉技术的推广和其在辅助训练领域的应用具有重要意义。

摘要： 输电线路舞动事故频繁发生,针对舞动机理优化等相关研究对舞动特征参数的需求,提出基于MEMS六轴传感器的舞动特征参数幅值、频率监测的优化算法。算法设计了六轴传感器的标定及数据预处理方法;针对关键中间参数舞动姿态的解算,取代传统Mahony滤波,优化设计了基于自适应Mahony滤波的姿态解算方法,经优化后能更迅速、准确解算姿态变化;针对舞动加速度时或频域下积分获取幅值存在的问题,优化设计出时-频域混合积分算法,同时提出舞动频率解算方法。最终实验室环境下模拟线路舞动,对幅值、频率监测优化算法进行测试,结果表明算法可正确解算舞动特征参数,且精度较高,满足国家电网相关标准误差要求,优化算法在理论的严谨性、准确性以及完备性方面较传统算法有所提高。

摘要： 介绍一种新颖小巧的运动康复器械监控设备,可安装于大多数具有转轴结构的器械上,实时监控其运转,进而获取使用者的训练状况。这一设备在已有传感器基础上开发了应用软件,实现对康复器械的配置、监控和统计计算,所提供的数据既可以帮助康复科管理人员了解器械的使用率,也可以协助医生和治疗师分析病人使用器械进行训练的情况。此监控设备已完成了近2 000小时的实验性运行,实验结果证明其对于多种运动康复器械都具有良好的监控精度,所收集的数据对于病人运动功能评估和康复训练具有参考价值,其在使用过程中的便捷性、实时性、稳定性等也获得了康复医生和治疗师的认可。此设备有望作为一个新的工具推进为数字化康复医疗的开展。

摘要： 四旋翼无人机上搭载的低成本MEMS传感器易受安装、测量、信号传输等误差的影响,导致姿态输出精度不足。为此,提出一种基于Levenberg-Marquardt (L-M)算法的三轴加速度计18个位置和三轴陀螺仪联合校正方法。在考虑传感器误差的基础上,采集并筛取3种传感器有效的输出数据,利用L-M算法对各传感器误差模型的待求参数进行最优估计。实验结果表明:校正补偿后,加速度计校正指标相比下降了98.96%,陀螺仪校正指标下降了74.33%,磁力计数据模值相比校正前与当地磁场强度差值大幅减小。此校正方法能够实现四旋翼机载MEMS传感器误差的有效补偿,具有良好的工程应用价值。

摘要： 采掘工作面智能化升级需要增加大量传感器,将导致传感器电缆大幅度增加、导致人力增加,提出采用自供电传感器化解矛盾,介绍自发电技术及自组网无线传输系统的起源、特点及无线传感器传输示意图。

摘要： 随着物联网技术的发展,智能家电已进入千家万户,从大到一台冰箱,小到一个开关的智能设备构成了智能家居体系。物联网使智能家电能通过互联网连接进行信息交换,智能家电感知外部世界获取信息则是通过传感器实现的。当前智能家居领域的应用场景不断细化,对传感器的尺寸、功耗、价格有了更高的需求。以下介绍MEMS传感器的技术及应用、MEMS传感器的特点与智能家电的结合、MEMS传感器的额外优势。

摘要： 在水下航行姿态优化问题的研究中,存在滤波实时性不高,系统鲁棒性差等问题,提出一种信息融合姿态解算方法。该种姿态解算方法基于四元数惯性系统数学模型,并对MEMS传感器信号预处理,将惯性模块的测量数据与观测数据进行向量积,通过PID控制器进行调节,互补滤波对角速度进行修正,利用龙格库塔法对四元数微分方程进行更新求得更精确的姿态角数据。仿真结果表明,提出的方法较传统姿态解算具有更好的精度以及鲁棒性。

摘要： 中国部分地区输电线路舞动事故频繁发生,为提供舞动预警及理论分析数据,提出一种基于MEMS六轴惯性传感器的输电线路舞动轨迹监测算法。算法给出舞动轨迹监测一般解算流程,以MEMS六轴惯性传感器敏感输电线路舞动的角速度、加速度信息可有效解决仅用三轴加速度计所存在的线路空间扭转问题,为有效抑制MEMS传感器中陀螺仪误差随时间累积,算法采用融合Mahony滤波的姿态解算,结合对线路位移的解算,得到线路空间舞动姿态和位置,二者相结合即能实现输电线路舞动轨迹的监测。算法同时提出线路舞动起舞及舞止的判别方法、监测设备工作于强烈电磁干扰环境无法引入外界磁信息,设备如何确定初始航向角方法,较传统相应轨迹监测算法准确性、完备性有较大改进。该算法最终应用于六轴传感器型号为ADIS16470的舞动轨迹监测装置后可达到对输电线路舞动轨迹的准确监测。

摘要： 该文总结了自动扶梯制动性能测试要求,开发了基于微机电系统(MEMS)加速度传感器的三轴加速度无线测量模块和基于Android的扶梯制动性能测试应用程序(APP),提出了基于三轴加速度传感器的扶梯制动性能检测方法,分析了加速度低通滤波、重力加速度偏量校准、数值积分、矢量和计算方法。利用开发的装置对某自动扶梯进行了空载下行制动性能检测,结果表明,该设备制停时间为0.90 s,制停距离为0.225 m,平均制停减速度为0.553 m/s^(2),最大制停减速度为0.774 m/s^(2),符合检测要求。

摘要： 本文介绍了大气压力的概念和大气压力的变化趋势,分析了大气压力变化对天然气流量测量结果带来的影响,以及目前计量系统中为了消除大气压的影响采取的方法和存在的问题,提出了一种使用MEMS压力传感器技术消除大气压力变化对天然气流量测量影响的方法.

摘要： 本文介绍了大气压力的概念和大气压力的变化趋势,分析了大气压力变化对天然气流量测量结果带来的影响,以及目前计量系统中为了消除大气压的影响采取的方法和存在的问题,提出了一种使用MEMS压力传感器技术消除大气压力变化对天然气流量测量影响的方法.

摘要： 本文介绍了大气压力的概念和大气压力的变化趋势,分析了大气压力变化对天然气流量测量结果带来的影响,以及目前计量系统中为了消除大气压的影响采取的方法和存在的问题,提出了一种使用MEMS压力传感器技术消除大气压力变化对天然气流量测量影响的方法.

摘要： 本文介绍了大气压力的概念和大气压力的变化趋势,分析了大气压力变化对天然气流量测量结果带来的影响,以及目前计量系统中为了消除大气压的影响采取的方法和存在的问题,提出了一种使用MEMS压力传感器技术消除大气压力变化对天然气流量测量影响的方法.

摘要： 本文的目的是设计一种小型实用的姿态测量系统，为无人机飞控系统提供姿态信息，即设计一种微型的以惯性导航为主的组合导航系统，针对无人机小型化、轻量化以及飞行控制需求,提出了一种基于ARM单片机、MEMS陀螺仪、加速度计架构的低成本、高性能的捷联姿态测量系统.为提高姿态测量精度,采用扩展卡尔曼滤波(EKF)对不同来源姿态数据进行数据融合.试验结果表明,系统运行良好,可以在其基础上进行进一步开发.

摘要： 本文的目的是设计一种小型实用的姿态测量系统，为无人机飞控系统提供姿态信息，即设计一种微型的以惯性导航为主的组合导航系统，针对无人机小型化、轻量化以及飞行控制需求,提出了一种基于ARM单片机、MEMS陀螺仪、加速度计架构的低成本、高性能的捷联姿态测量系统.为提高姿态测量精度,采用扩展卡尔曼滤波(EKF)对不同来源姿态数据进行数据融合.试验结果表明,系统运行良好,可以在其基础上进行进一步开发.

摘要： 本文的目的是设计一种小型实用的姿态测量系统，为无人机飞控系统提供姿态信息，即设计一种微型的以惯性导航为主的组合导航系统，针对无人机小型化、轻量化以及飞行控制需求,提出了一种基于ARM单片机、MEMS陀螺仪、加速度计架构的低成本、高性能的捷联姿态测量系统.为提高姿态测量精度,采用扩展卡尔曼滤波(EKF)对不同来源姿态数据进行数据融合.试验结果表明,系统运行良好,可以在其基础上进行进一步开发.

摘要： 本文的目的是设计一种小型实用的姿态测量系统，为无人机飞控系统提供姿态信息，即设计一种微型的以惯性导航为主的组合导航系统，针对无人机小型化、轻量化以及飞行控制需求,提出了一种基于ARM单片机、MEMS陀螺仪、加速度计架构的低成本、高性能的捷联姿态测量系统.为提高姿态测量精度,采用扩展卡尔曼滤波(EKF)对不同来源姿态数据进行数据融合.试验结果表明,系统运行良好,可以在其基础上进行进一步开发.

摘要： 通过附在人身上的微型传感器对人体运动进行实时捕获.使用MEMS数字传感器和计算、通信设备搭建一套运动捕获系统,将导航和机器人机构学算法进行裁剪整合,权衡并且优化了计算量及精度,得出一套能用于人体运动捕获的算法并植入运动捕获系统.理想情况实验表明系统的捕获误差为±2°,能迅速跟踪运动.系统的整体实验发现系统捕获精度大约可以达到专业运动捕获的70％.本系统使用廉价设备,不需要高通量的数据计算,兼具轻便,对人体运动干扰小的特性.

摘要： 通过附在人身上的微型传感器对人体运动进行实时捕获.使用MEMS数字传感器和计算、通信设备搭建一套运动捕获系统,将导航和机器人机构学算法进行裁剪整合,权衡并且优化了计算量及精度,得出一套能用于人体运动捕获的算法并植入运动捕获系统.理想情况实验表明系统的捕获误差为±2°,能迅速跟踪运动.系统的整体实验发现系统捕获精度大约可以达到专业运动捕获的70％.本系统使用廉价设备,不需要高通量的数据计算,兼具轻便,对人体运动干扰小的特性.

摘要： 本发明提供在使用MEMS技术制作的电容式传感器中，可获得高的SN比，且可提高对输入压力的耐压性的技术。本发明的电容式传感器将膜片的位移转换成该膜片与所述背板之间的电容的变化，其中，从法线方向观察，膜片的外形的一部分配置于基板的开口的内侧，膜片的外形的其它部分配置于基板的开口的外侧。

摘要： 本发明涉及一种MEMS气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法，属于气体检测技术领域，解决了现有技术价格昂贵、响应时间长、环境稳定性差的问题。MEMS气体传感器芯片包括气体敏感单元、温度敏感单元、敏感结构衬底和温度控制单元。MEMS气体传感器，包括MEMS气体传感器芯片和控制电路；控制电路又包括微控制器、N型MOSFET、P型MOSFET、正负电源。微控制器对温度敏感单元采集的实际温度与预设温度进行比较，根据比较结果输出控制信号，控制N型MOSFET和P型MOSFET的通断，进而控制流经温度控制单元的电流方向和大小，改变敏感结构衬底表面的温度。本发明MEMS气体传感器操作简单、通用性强，可同时测量多种气体的浓度，节省了成本，而且响应时间短、环境稳定性好。

摘要： MEMS陀螺仪包括以驱动频率驱动的悬挂弹簧质块系统的检测质块。在驱动运动期间，检测质块相对于感测电极移动，使得检测质块和感测电极的重叠变化。科里奥利力导致检测质块相对于感应电极移动。感测由于科里奥利力而引起的重叠和移动，并且基于由于重叠以及科里奥利力的变化而产生的信号的幅度来确定角速度。

摘要： 本发明提供在使用MEMS技术制作的电容式传感器中，可获得高的SN比，且可提高对输入压力的耐压性的技术。本发明的电容式传感器将膜片的位移转换成该膜片与所述背板之间的电容的变化，其中，从法线方向观察，膜片的外形的一部分配置于基板的开口的内侧，膜片的外形的其它部分配置于基板的开口的外侧。

摘要： 本发明涉及一种MEMS气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法，属于气体检测技术领域，解决了现有技术价格昂贵、响应时间长、环境稳定性差的问题。MEMS气体传感器芯片包括气体敏感单元、温度敏感单元、敏感结构衬底和温度控制单元。MEMS气体传感器，包括MEMS气体传感器芯片和控制电路；控制电路又包括微控制器、N型MOSFET、P型MOSFET、正负电源。微控制器对温度敏感单元采集的实际温度与预设温度进行比较，根据比较结果输出控制信号，控制N型MOSFET和P型MOSFET的通断，进而控制流经温度控制单元的电流方向和大小，改变敏感结构衬底表面的温度。本发明MEMS气体传感器操作简单、通用性强，可同时测量多种气体的浓度，节省了成本，而且响应时间短、环境稳定性好。

摘要： 本申请实施例公开了提供一种MEMS传感器的制作方法及其MEMS传感器，包括如下步骤：在基板的表面设置MEMS芯片和ASIC芯片；在基板的表面设置具有第一声孔的第一壳体，且所述MEMS芯片和所述ASIC芯片均位于所述第一壳体的内侧；在所述第一声孔的远离所述基板的一侧贴附防水透气膜；在所述第一壳体的外侧套设具有第二声孔的第二壳体，所述第二声孔与所述第一声孔相对，所述防水透气膜的远离所述第一壳体的一侧固定于所述第二壳体。本申请实施例公开的MEMS传感器的制作方法及其MEMS传感器，设计合理，制作方法简单，不仅能保证MEMS传感器具有较好的防水性能，而且提高了MEMS传感器的抗干扰性能。

摘要： 本发明公开了一种MEMS传感器芯片封装应力隔离结构、MEMS传感器及制备方法，包括外围支撑框架以及位于外围支撑框架内的应力隔离质量块，所述外围支撑框架和应力隔离支撑块之间通过支撑悬臂梁连接，外围支撑框架、应力隔离质量块以及支撑悬臂梁均位于同一平面上，所述外围支撑框架和应力隔离质量块上分别设有用于与MEMS传感器芯片或封装基座相连的多个贴片凸起。本发明能够有效隔离贴片应力或焊接应力影响，并且可兼容集成电路加工工艺、降低传感器芯片贴片应力、体积小、加工成本点、可批量加工等特点，可广泛应用于MEMS陀螺仪和加速度计等惯性传感器芯片集成封装。

摘要： 本发明公开了一种MEMS传感器芯片封装结构、MEMS传感器及制备方法，包括外围支撑框架和应力隔离质量块，所述外围支撑框架内设置有支撑悬板，所述支撑悬板与外围支撑框架连接且外围支撑框架与支撑悬板在同一平面上，应力隔离质量块设置在所述支撑悬板的上表面上，所述外围支撑框架和应力隔离质量块上分别设有用于与MEMS传感器芯片或封装基座相连的多个贴片凸起。本发明能够有效隔离贴片应力或焊接应力影响，并且可兼容集成电路加工工艺、降低传感器芯片贴片应力、体积小、加工成本低、可批量加工等特点，可广泛应用于MEMS陀螺仪和加速度计等惯性传感器芯片集成封装。

摘要： 本发明涉及一种MEMS传感器，所述MEMS传感器包括：可偏移地布置的功能层；用于将所述功能层的偏移转换为电信号的转换装置，其中，所述转换装置包括至少一个电元件，其中，所述至少一个电元件与第一区域至少部分地电连接，其中，所述第一区域与第二区域至少部分地电连接，其中，第一和第二区域和/或第一区域和所述至少一个电元件能够在截止方向和导通方向上电运行；以及控制装置，其中，所述控制装置构造为使所述至少一个电元件和所述第一区域和/或所述第一区域和所述第二区域在导通方向上至少部分地为提供热能而运行。

摘要： 本实用新型公开了一种MEMS惯性传感器芯片模组以及MEMS传感器，包括壳体，所述壳体分别固定有PCB板和金属支撑柱，所述金属支撑柱上支承有MEMS惯性传感器芯片组件，所述MEMS惯性传感器芯片组件上的连接端子通过金属线与PCB板上的连接端子相互连接。本实用新型无需一级封装工艺，大幅度降低封装及集成成本，缩小集成体积，避免了表面安装涉入的热应力，也能实现快速热传导，可保有MEMS惯性传感器芯片级各项性能指标，能够改善现有技术对MEMS惯性传感器芯片的应用限制，避免一级封装或二级封装热应力的对系统集成应用的影响。