薄膜光学

摘要： 将光电性能优异、可通过低温溶液法制备的卤化物钙钛矿制成阵列型光电探测器,必将推动其在成像、光通信等领域中的应用。然而,卤化物钙钛矿易被常规溶剂(包括显影液)溶解,导致其与光刻工艺不兼容。自组装单分子疏水层结合光刻工艺的亲水-疏水图形基底制备方法能解决制备过程中极性溶剂与钙钛矿材料不兼容的问题,通过简单的旋涂(极性钙钛矿前驱体溶液仅在亲水图形区域浸润)、低温退火,可以快速获得钙钛矿阵列。CH_(3)NH_(3)PbI_(3)薄膜阵列光电探测器具有良好的光电性能,530 nm光辐照下探测率为4.7×10^(11) Jones,响应度为0.055 A/W。这项工作为制备图案可控的钙钛矿薄膜阵列光电探测器提供了一种简单而有效的策略。

摘要： 无论是严寒酷暑,还是雨雪风霜,每个工作日的早上,80岁的范正修老先生都会骑着他那辆自行车准时出现在中国科学院上海光机所薄膜光学实验室(以下简称“实验室”)的办公室里。作为实验室的第一任主任,在过去的57年时光里,他的人生际遇,他的喜怒哀乐,早已和这座自己亲手缔造起来的实验室融为一体,荣辱与共。

摘要： 在紫外固化设备中,固化强度和速度是衡量紫外线利用率的重要指标,传统紫外固化灯用普通铝材做反射罩,紫外区(小于400nm)反射能量低,红外区(大于700 nm)反射热量高,且铝材表面硬度低,抗腐蚀能力差.以紫外高反膜系设计理论为基础,通过非规整膜系优化设计金属+介质膜堆结构,在固定膜厚下试验算出单层金属膜光学常数.利用离子辅助和金属反应蒸发真空镀膜技术,优化各项工艺参数,在尺寸600 mm×400 mm×0.3 mm抛光氧化铝镁基材上镀多层紫外反射膜提升紫外线使用率,镀膜后裁剪至小尺寸热压成弧形反射灯罩,使紫外区平均反射大于95％,红外区反射能量降低了80％,表面抗氧化耐腐蚀,牢固度高可擦拭,产品外观对应紫外光呈现蓝紫色.工艺重复性高,适合批量生产.

摘要： 低温沉积具有优异光电性能的ITO一直是道难题。本文采用掺杂H_(2)的方式,利用磁控溅射设备室温制备了ITO导电膜,并通过分光光度计、四探针测试仪、台阶仪等对样品进行表征,研究了不同H_(2)掺杂量对薄膜光学、电学、附着力的影响。结果表明,适量的H_(2)掺杂可以在保证较高透过率的基础上,降低薄膜的电阻率,同时,增加膜层的附着力,可以获得透光度75.1%、方块电阻12欧姆、电阻率6.3×10^(-4)Ω·cm的膜层。

摘要： 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室在基于低温等离子体增强原子层沉积的紫外减反射激光薄膜研究中取得新进展,初步实现了紫外减反射薄膜的损伤阈值提升。原子层沉积技术具有精确的厚度可控性、高均匀性、优异的共形性和较高的激光损伤阈值,在激光薄膜领域具有良好前景。

摘要： 光学薄膜在制备和使用过程中会因缺陷和污染等产生吸收中心,当薄膜受激光辐照后,吸收中心吸收光能会产生热信号,根据热信号可以测量光学薄膜的光学吸收损耗.本文提出基于红外热像仪测量薄膜光学吸收损耗的方法,在测试中加入参考样品可以减少环境温度变化和热像仪噪声对于温度测试结果的影响,对测量过程温度场取一定面积进行平均减少了激光指向波动和光斑分布不理想导致的有限元仿真计算误差.使用本方法测试了小尺寸45°的高反膜吸收损耗,测试得到吸收损耗为7.60 ppm,且测试了同批次大尺寸光学薄膜样品吸收损耗的空间分布情况.使用本方法测量的光学薄膜吸收率和激光量热测试结果一致,不需要长时间的恒温和严格环境温度控制,且测试样品尺寸不受限制.

摘要： 分别对美国及欧洲的静止轨道高分成像卫星发展路径进行了详细分析,其中美国主要发展由NASA提出的基于衍射成像原理的薄膜光学成像卫星;欧洲主要发展由ESA提出的地球静止高分辨率任务(Geostationary High Resolution Mission,GEO-HR)。GEO-HR包含三个项目:GEO-Oculus(孔径为1.5 m,分辨率为10m);Astrium GO3S(孔径为4m,分辨率为3m);光学合成孔径系统(合成孔径为7m,分辨率为2m)。最后,根据美国及欧洲的静止轨道成像卫星发展的路线,结合我国静止轨道卫星发展现状,分析地球静止轨道高分辨率成像卫星的发展趋势及启示。

摘要： 分别对美国及欧洲的静止轨道高分成像卫星发展路径进行了详细分析,其中美国主要发展由NASA提出的基于衍射成像原理的薄膜光学成像卫星;欧洲主要发展由ESA提出的地球静止高分辨率任务(Geostationary High Resolution Mission,GEO-HR).GEO-HR包含三个项目:GEO-Oculus(孔径为1.5 m,分辨率为10m);Astrium GO3S(孔径为4m,分辨率为3m);光学合成孔径系统(合成孔径为7m,分辨率为2m).最后,根据美国及欧洲的静止轨道成像卫星发展的路线,结合我国静止轨道卫星发展现状,分析地球静止轨道高分辨率成像卫星的发展趋势及启示.

摘要： 为了精密检测靶丸壳层折射率参数,基于白光垂直扫描干涉和白光反射光谱的基本原理,建立了二者联用的靶丸壳层折射率测量方法。数据处理利用曲线拟合测定极值点波长、并由干涉级次连续性判定干涉级次,解决了白光反射光谱波峰位置难以精确确定和单极值点判读可能存在干涉级次误差等难题。对玻璃靶丸折射率进行了测量、实验验证和不确定度分析,研究结果表明,白光干涉技术能够实现靶丸壳层折射率的精确测量,其测量不确定度约为0.86%。

摘要： 为了实现NA1.35投影光刻光学系统高质量成像,在设计过程中除了控制波像差,还需进一步优化光学系统的偏振像差.利用Jones光瞳和物理光瞳表达了NA1.35投影光刻光学系统的偏振像差,并用二向衰减量与延迟量分析了光学系统偏振像差的大小;根据光线入射到不同光学面上最大入射角度的不同,为每个光学面设计相应的膜系以优化光学系统的偏振像差.相比于采用常规膜系,膜系优化后NA1.35投影光刻光学系统的二向衰减量和延迟量分别减小到了0.021 8、0.057 2 rad,即减小了光学系统的偏振像差.利用Prolith光刻仿真软件,分别对采用常规膜系和优化膜系的NA1.35投影光刻光学系统进行曝光性能仿真,结果显示:膜系优化后光学系统的成像对比度提高了4.4％,证明了NA1.35投影光刻光学系统偏振像差优化方法的有效性.

摘要： 本文采用ZnO和Cr靶交替溅射的方法在载玻片上制备了不同Cr含量的ZnO薄膜，以及在不同O2偏压下的Cr掺杂ZnO薄膜。利用X射线衍射、吸收光谱和光致发光光谱(PL)对制备的样品进行了结构和光学性能的研究。结果表明，Cr掺杂之后使ZnO的晶格常数变小，并且随着Cr掺杂浓度的增加，吸收边发生红移，ZnO带隙变小。PL光谱结果显示出样品有三个发光峰:395nm，503nm和670hm，分别与自由激予复合，O填隙(Oi)和Cr3+离子有关。Cr浓度和O2偏压增加会导致ZnO的这三个发光峰强度增强。

摘要： 减反膜技术对于提高太阳能电池的光电转换效率是非常重要的。理想的减反膜应该能够在一定的波长宽度范围内使所有角度入射的太阳光都能够在太阳能电池表面的反射损失尽可能的小。基于薄膜光学理论，对于不同的情况分别采用了两种多层膜结构作为初始膜堆。并结合共轭梯度法优化技术，综合考虑角度因素和波长因素，入射角范围取为0°-60°，工作波长范围取为400～1200nm，设计了两个宽角度宽波段减反膜。从结果来看，该设计能够在所选择的入射角和工作波长范围内都非常明显的减少太阳能电池表面的剩余反射率。

摘要： 本文运用离子束辅助技术(IAD)在人工植入2umSiO2小球的基板上镀制两种不同厚度薄膜，对比薄膜中节瘤的损伤特性，发现膜厚对节瘤损伤特性有显著影响。这两种厚度的薄膜中电场分布和吸收相近，但是厚度大(约是2倍)的薄膜中，对节瘤界面有修补作用。使用1064nm脉冲激光(脉宽10ns)进行了统计性的Raster Scan扫描测量。发现厚度大的薄膜中节瘤的初始损伤阈值更高(约为2倍)，损伤过程相对缓慢。这说明对于2um直径的SiO2种子源，在我们考察的厚度范围之内，膜厚对节瘤损伤特性有明显的改善作用，使其抗激光辐照的稳定性也增强，初始损伤阈值随之提高。

摘要： 本文运用离子束辅助技术(IAD)在人工植入2umSiO2小球的基板上镀制两种不同厚度薄膜，对比薄膜中节瘤的损伤特性，发现膜厚对节瘤损伤特性有显著影响。这两种厚度的薄膜中电场分布和吸收相近，但是厚度大(约是2倍)的薄膜中，对节瘤界面有修补作用。使用1064nm脉冲激光(脉宽10ns)进行了统计性的Raster Scan扫描测量。发现厚度大的薄膜中节瘤的初始损伤阈值更高(约为2倍)，损伤过程相对缓慢。这说明对于2um直径的SiO2种子源，在我们考察的厚度范围之内，膜厚对节瘤损伤特性有明显的改善作用，使其抗激光辐照的稳定性也增强，初始损伤阈值随之提高。

摘要： 本文运用离子束辅助技术(IAD)在人工植入2umSiO2小球的基板上镀制两种不同厚度薄膜，对比薄膜中节瘤的损伤特性，发现膜厚对节瘤损伤特性有显著影响。这两种厚度的薄膜中电场分布和吸收相近，但是厚度大(约是2倍)的薄膜中，对节瘤界面有修补作用。使用1064nm脉冲激光(脉宽10ns)进行了统计性的Raster Scan扫描测量。发现厚度大的薄膜中节瘤的初始损伤阈值更高(约为2倍)，损伤过程相对缓慢。这说明对于2um直径的SiO2种子源，在我们考察的厚度范围之内，膜厚对节瘤损伤特性有明显的改善作用，使其抗激光辐照的稳定性也增强，初始损伤阈值随之提高。

摘要： 本文运用离子束辅助技术(IAD)在人工植入2umSiO2小球的基板上镀制两种不同厚度薄膜，对比薄膜中节瘤的损伤特性，发现膜厚对节瘤损伤特性有显著影响。这两种厚度的薄膜中电场分布和吸收相近，但是厚度大(约是2倍)的薄膜中，对节瘤界面有修补作用。使用1064nm脉冲激光(脉宽10ns)进行了统计性的Raster Scan扫描测量。发现厚度大的薄膜中节瘤的初始损伤阈值更高(约为2倍)，损伤过程相对缓慢。这说明对于2um直径的SiO2种子源，在我们考察的厚度范围之内，膜厚对节瘤损伤特性有明显的改善作用，使其抗激光辐照的稳定性也增强，初始损伤阈值随之提高。

摘要： 本文以改性聚氨酯丙烯酸酯为主体，制备了一种PET光学膜用透明硬涂层材料。讨论了光固化树脂、活性稀释剂、光引发剂等因素对PET光学膜加硬后的硬度、耐磨性、附着力等性能的影响，并从反应机理方面分析探讨了实验结果。经测试：实验制备的涂层硬度5H，附着力100％，经RCA纸带耐磨擦试（500g，1000cycles），PET膜可见光透过率无损失，同时具有低表面张力，出色的柔韧性和良好的耐化学品性。

摘要： 本文以改性聚氨酯丙烯酸酯为主体，制备了一种PET光学膜用透明硬涂层材料。讨论了光固化树脂、活性稀释剂、光引发剂等因素对PET光学膜加硬后的硬度、耐磨性、附着力等性能的影响，并从反应机理方面分析探讨了实验结果。经测试：实验制备的涂层硬度5H，附着力100％，经RCA纸带耐磨擦试（500g，1000cycles），PET膜可见光透过率无损失，同时具有低表面张力，出色的柔韧性和良好的耐化学品性。

摘要： 本文以改性聚氨酯丙烯酸酯为主体，制备了一种PET光学膜用透明硬涂层材料。讨论了光固化树脂、活性稀释剂、光引发剂等因素对PET光学膜加硬后的硬度、耐磨性、附着力等性能的影响，并从反应机理方面分析探讨了实验结果。经测试：实验制备的涂层硬度5H，附着力100％，经RCA纸带耐磨擦试（500g，1000cycles），PET膜可见光透过率无损失，同时具有低表面张力，出色的柔韧性和良好的耐化学品性。

摘要： 本文以改性聚氨酯丙烯酸酯为主体，制备了一种PET光学膜用透明硬涂层材料。讨论了光固化树脂、活性稀释剂、光引发剂等因素对PET光学膜加硬后的硬度、耐磨性、附着力等性能的影响，并从反应机理方面分析探讨了实验结果。经测试：实验制备的涂层硬度5H，附着力100％，经RCA纸带耐磨擦试（500g，1000cycles），PET膜可见光透过率无损失，同时具有低表面张力，出色的柔韧性和良好的耐化学品性。

摘要： 本发明属于光学薄膜技术领域，公开了一种大角度入射红外硬质保护薄膜窗口，通过在Si基底一面设计大角度入射红外减反射硬质保护薄膜，其中选择高硬度的Si3N4薄膜作为最外层保护薄膜，在另一面设计大角度入射红外减反射薄膜，能实现高透过率、高硬度(>20GPa)、大角度工作范围(0°‑70°)的红外硬质保护薄膜窗口的设计。结果表明，本发明将大大提高红外硬质保护薄膜窗口在不同入射角度范围内的性能，对于大角度入射高性能红外硬质保护薄膜窗口的离子束溅射制备具有重要的作用。

摘要： 本发明提供一种可喷墨打印原位调色的发光材料，所述发光材料包括路易斯酸和与所述路易斯酸配对产生荧光发射的路易斯碱；所述的路易斯酸含有硼原子或高价态的金属原子；产生配对的路易斯酸和路易斯碱在不同波长的光的激发下可以产生不同的颜色，且发光颜色随配比浓度变化。本发明还提供了一种实现图案化、原位可调发光颜色的薄膜的制备方法，其可以在不改变墨水中原料的种类的条件下，大范围调控发光光谱，解决常规喷墨打印全彩色图案需要预配置不同颜色的墨水的问题，可实现低成本、大面积、阵列化、全光谱的信息加密与防伪薄膜的制备，或满足电致发光的要求。

摘要： 一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法，涉及一种光学薄膜参数的检测方法。提供仅通过一次计算，即可快速检测的一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法。测量透射光谱：利用分光光度计，测量正入射情况下单层光学薄膜的不扣除基底的透射光谱；选取透射率数据：在测量透射光谱上选取透射率数据代入评价函数；反演求解：采用改进模拟退火算法对评价函数进行反演求解；分析结果：通过恢复透射光谱，对算法返回结果进行分析。算法全局性能更优，返回解数量级更小，且回火退火帮助返回多组解，全面了解评价函数情况；可与分光光度计测量软件相结合，直接读取透射率数据进行反演求解，拓宽分光光度计的应用范围，具有潜在商业价值。

摘要： 本发明公开了一种塑料薄膜光学检测仪器，包括主器体，主器体内设有开口向左的输入腔，输入腔内前后两侧转动设有对称的转动板，两侧的转动板相互靠近一侧设有支撑转轴，本发明通过导向板转动，进而改变塑料薄膜的输入方向，进而在卷收转筒卷绕塑料薄膜过程中，因卷绕的塑料薄膜逐渐加厚，通过改变输入方向适应并提高卷收转筒的卷绕效率，防止了塑料薄膜过度绷紧而断裂，进而提高光学检测的准确性，同时通过卷绕缆绳将绕设至卷收转筒外圆面的塑料薄膜进行抚平，通过防止塑料薄膜起褶皱使后续的卷绕工作效果不佳的同时，通过卷绕缆绳进行二次的塑料薄膜光学检测工作，进而提高塑料薄膜的检测与生产效率。

摘要： 本发明公开一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法，解决现有聚酰亚胺加工方法制作成本较高、工作环境难以实现等问题。本发明的制备方法具体包括以下步骤：(1)在衬底模具表面涂覆聚酰亚胺前驱液，并低温烘烤至凝胶状态；(2)在聚酰亚胺凝胶体表面叠印压印模具，并压印升温使所述聚酰亚胺凝胶体半固化；(3)剥离压印模具，得到半固态的聚酰亚胺结构，并烘烤至完全亚胺化；(4)剥离衬底模具，得到双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件。本发明利用涂胶、压印和梯度升温方法即可在聚酰亚胺薄膜两面同时获得微纳结构，方法简单快捷、普适性强，制备过程效率高、成本低，可用于制备复合功能薄膜光学器件。

摘要： 本申请提供一种光学薄膜光学常数工艺相关性的实验方法，包括以下步骤：设定单层薄膜；设定所述单层薄膜的目标工艺参数A；设置所述目标工艺参数A的值A1,A2......An；以设定规则对所述目标工艺参数A进行排序；按排序后的所述目标工艺参数A的顺序依次在光学基底上制备具有对应所述目标工艺参数A的值的所述单层薄膜，每层所述单层薄膜的其它工艺参数不变，获得分层光学薄膜；获取所述分层光学薄膜的目标光谱；构建所述分层光学薄膜的物理模型，每层所述单层薄膜具有相同的光学常数模型；以所述目标光谱为目标函数，对所述物理模型的每层所述单层薄膜的光学常数进行拟合；计算获得所述单层薄膜的光学常数；获得所述光学常数和所述目标工艺参数A的相关性。

摘要： 本发明公开了一种用于提高光学薄膜光学性能的制备方法，属于真空镀膜技术领域，主要针对光学薄膜制备过程中，光学薄膜表面粗糙度随膜层增加而增加，影响光学薄膜的反射率以及透过率光谱；以及光学薄膜膜层材料的化学计量比失衡，引起光学薄膜吸收损耗增加。基于高能离子束刻蚀技术，通过优化光学薄膜制备工艺参数，并在每层薄膜材料制备后，采用优化的离子束刻蚀参数对刚制备的光学薄膜进行在线处理，实现对光学薄膜结构致密性、表面粗糙度和化学计量比的优化，最终实现高性能光学薄膜的制备目的。本发明具有针对性强、品质高、简单易行的特点。

摘要： 一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法，涉及一种光学薄膜参数的检测方法。提供仅通过一次计算，即可快速检测的一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法。测量透射光谱：利用分光光度计，测量正入射情况下单层光学薄膜的不扣除基底的透射光谱；选取透射率数据：在测量透射光谱上选取透射率数据代入评价函数；反演求解：采用改进模拟退火算法对评价函数进行反演求解；分析结果：通过恢复透射光谱，对算法返回结果进行分析。算法全局性能更优，返回解数量级更小，且回火退火帮助返回多组解，全面了解评价函数情况；可与分光光度计测量软件相结合，直接读取透射率数据进行反演求解，拓宽分光光度计的应用范围，具有潜在商业价值。

摘要： 本公开涉及一种用于测量薄膜光学常数的方法、系统、计算设备和存储介质，该方法包括：获取光源所发出的多个波长的入射光的光源光谱数据；获取关于待测薄膜的出射光谱数据，出射光谱数据是利用所述入射光对包括多层的薄膜层的待测薄膜进行测量而生成的；基于所述光源光谱数据和所述出射光谱数据，计算实测光谱数据，所述实测光谱数据至少指示所述待测薄膜在入射光的多个波长下的反射率或透射率；将光源光谱数据输入用于仿真待测薄膜中的光的传播特性的薄膜网络模型，以便薄膜网络模型所输出的关于待测薄膜的模拟光谱数据接近所述实测光谱数据；以及基于所述薄膜网络模型的参数，确定所述待测薄膜的折射率和薄膜层的薄膜主体的厚度中的至少一个。本公开能够快速实现多层薄膜的光学参数的量测。

摘要： 本发明公开了一种测量透明薄膜光学参数的方法及应用。本发明通过用光谱仪测得透明薄膜的光谱反射率，用单波长椭偏仪测量透明薄膜的折射率及厚度；采用自适应粒子群算法对测量得到的厚度进行修正；利用模拟退火算法在设定波长段内对薄膜的折射率进行反演，得到透明薄膜在设定波长内的折射率分布；对反演得到的折射率进行降噪及平滑处理，得到准确的折射率色散分布曲线。本发明不需要假设待测薄膜的色散类型，就可以测量求解薄膜的厚度及其折射率色散分布，可用于透明薄膜或弱吸收薄膜的测量；且所需测量设备成本低、测量过程简单、方便，测量精确度高。