电容式

摘要： MEMS加速度计作为MEMS应用领域中最早开始研究的传感器之一,是一种微型的机电设备,它可以感知物体在多个轴上的加速度分量。如今,基于微电子机械的加速度计已被广泛应用于太空测量、惯性导航、消费电子、汽车电子和地质勘探等各个领域,其重量往往只有几毫克重,足迹肉眼不可见。本文综述了MEMS加速度计的发展历史,重点介绍了早期油阻尼压阻式微加速度计和空气阻尼电容式微加速度计的结构和原理,并分析了近年MEMS加速度计的发展趋势与应用。

摘要： 本文介绍了常用柔性触觉传感器的特点和分类,对其应用的新型材料、工作原理和结构、触觉传感特性等做了详细介绍。阐述了压阻式、压电式、电容式柔性触觉传感器的结构、工艺与性能,并且介绍了其适用环境和测量范围。柔性触觉传感器在智能医疗、航天航空应用、智能机器人设备、军事智能制造、汽车安全领域未来发展前景十分广阔。在未来科技的推动下,柔性触觉传感器趋向高灵敏度、高柔弹性以及多功能等方向发展。

摘要： 文中对联动薄膜电容式压力敏感结构进行研究,结构中的上极板和下极板均感压可动,随着压力载荷的增加,上下极板绝缘接触后,通过下极板对上极板形变状态的调节作用,有效增加了线性响应范围,提高了线性度。同时,结构中采用带有残余压应力的感压上极板来代替无应力的感压上极板,通过仿真计算表明,相较于无应力的感压上极板,当感压上极板中存在残余压应力时,输出电容具有更好的线性响应。通过采用SOI材料的单晶硅薄膜结合硅-硅直接键合技术试制了量程为0~80 kPa压力敏感芯片,并给出了工艺流程。测试结果表明,在20~64 kPa压力范围下,所试制压力敏感芯片的灵敏度为0.057 pF/kPa,非线性度为3.1%。

摘要： 在批式循环谷物烘干机作业过程中,要求根据谷物的实时含水率,提供合适的热风温度和热风流量,完成烘干作业。因此,在线测试谷物含水率,就成为实现自动烘干并满足优化烘干工艺的必要条件。一、研究背景1.问题提出各品牌批式循环谷物烘干机均配备了间接法水分测试仪,主要有电容式和电阻式,但实际使用中存在各种问题。

摘要： 工业领域中,目前研发的高精度MEMS压力传感器大多基于接触电容式结构,这种结构虽然一定程度上改善了普通电容式压力传感器的非线性问题,但其线性响应范围较小,限制了应用与开发,线性度也需要进一步提高。文中采用联动膜电容式压力敏感结构对其进行了研究与制作。基于有限元方法对压力敏感结构的响应特性进行了分析,仿真结果表明,该结构在增加线性响应范围和提高线性度方面表现出显著优势。试制了量程为100 kPa的样品芯片,测试结果表明,在25~100 kPa的压力范围内,样品芯片的灵敏度达到0.058 pF/kPa,其非线性度为4.83%FS。

摘要： 为了提高电容式触觉传感器在较大量程范围内的灵敏度,应用P DMS(聚二甲基硅氧烷)海绵微结构作为介质层,设计了电容式三维力触觉传感器.利用有限元软件对海绵介质层和普通薄膜介质层进行性能对比,同等压力作用下,海绵微结构触觉传感器拥有更高的灵敏度.对传感器单元进行有限元分析,得到传感器在三维力作用下的形变情况和电容变化趋势.制备了传感器单元,并进行三维力加载实验,采集和分析实验数据,计算出了传感器的灵敏度.样机实测结果表明,该传感器可以实现在0～10 N法向力和0～4 N切向力较大的量程范围内的检测,且法向和切向的平均灵敏度都较高,分别可以达到0.065 pF/N、0.071 pF/N和0.076 pF/N.

摘要： 为了实现"治已病"向"治未病"的转变,用于人体健康监测的智能传感技术亟待研究.人体脉搏包含丰富的心血管系统参数,历来是临床健康评估的重要信息来源.因此,准确、有效地监测人体脉搏并分析其包含的生理健康参数,是预防和治疗心血管疾病的有效途径.随着传感技术、电子设备和人工智能的发展,可穿戴式的智能健康监测设备备受关注.为了实现随时随地的自主健康监测,越来越多的研究学者致力于柔性压力传感器在智能医疗领域的研究,旨在通过柔性传感器的设计,实现体表脉搏监测以评估人体心血管系统健康状况.根据传感器工作原理和结构的不同,介绍了用于人体体表脉搏监测的柔性压力传感器的最新研究进展,并对未来的柔性压力传感技术提出了展望.

摘要： 传统柔性压力传感器采用离散电容结构,传感器空间分辨率受到最小离散单元的限制.对于作用面积较小的外力接触,现有柔性传感器仅能通过减小离散单元面积确定接触位置,而离散单元过小则会造成制作困难、接线复杂、成本升高.为解决微小接触面积下空间分辨率偏低问题,提出了一种基于整体介质层耦合结构柔性传感器,通过建立传感器接触及扩散电容单元的数学模型,能够在不降低电极面积的情况下,通过接触及扩散电容对接触位置进行准确判断,显著提升柔性压力传感器的空间分辨率.仿真及试验结果表明:所设计的基于耦合介质层8×8阵列传感器的受力模型获得了0.2 mm×0.2 mm的空间分辨率,在较低的制作成本以及传感器尺寸稍大的前提下,大大提高了阵列传感器的空间分辨率.

摘要： 在接触电容式MEMS压力敏感结构基础上,为扩展线性响应范围提高线性度,提出了双动极板电容式MEMS压力敏感结构.这种结构中电容的上极板和下极板均感压可动,其可动下极板对两极板的受压接触有缓冲调节作用,改善了响应性能.使用有限元法对结构的特性进行了仿真分析,讨论了结构参数对压力敏感结构性能的影响,结果表明双动极板电容式压力敏感结构和普通接触式相比线性响应范围可增大1倍以上,同时显著降低了非线性度.

摘要： 液位控制是日常生活和工业过控系统中常见的控制问题之一,要实现精确的液位控制目标,需要选择合适的液位传感器.本文主要围绕不同液位传感器的测量原理及方式,分析了不同类型液位传感器的研究现状.通过分析各类主流液位传感器研究和使用中出现的普遍性问题,对主流液位传感器技术未来的发展趋势进行了展望.

摘要： 本文针对Y311型条干仪在实际质量测试过程中的不足,通过国内几种型号的电容式条粗条干均匀度测试仪性能、功能的分析和比较,及其在推广应用过程中的问题.由电容式条粗条干仪代替Y311型条干机有利于企业产品质量的提高.

摘要： 本文主要介绍了利用硅-硅键合技术制作的微型电容式温度传感器的温度效应,给出了详细的制作工艺.文中对测试装置进行了详细介绍和深入分析.最后对制作的传感器器件进行了测试,并对测试结果进行分析.结果表明这种微传感器的温度影响需要校正,否则影响传感器的的线性工作范围.

摘要： 本文提出了一种新型的采用标准CMOS工艺结合MEMS后处理工艺加工的电容式绝对压力传感器.传感器结构部分是由导体/介质层/导体组成的可变电容器.电容的上下极板分别为CMOS工艺中的多晶硅栅和n阱硅,中间介质层为栅氧化层.在CMOS工艺加工完之后,利用选择性的体硅腐蚀、pn结自停止腐蚀以及阳极键合等MEMS后处理工艺来得到传感器结构.与传统的电容式压力传感器相比,这种结构具有更大的初始固有电容,这样可以抑制寄生电容的影响,从而简化检测电路的设计.文中,应用多层膜理论模型分析了传感器的结构,并利用ANSYS有限元分析对模型进行了验证,并利用电容变化模型分析了传感器的灵敏度.对于边长为800 μm的敏感方膜,初始电容值为1 104pF,传感器灵敏度为46 fF/hPa.同时,本文给出了传感器的电容检测电路的设计.

摘要： 在电容式RF MEMS开关的动态工作过程中,会有电磁波产生.本文根据开关膜桥的动态运动模型,把开关工作分成了四个过程,并通过麦克斯韦方程建立了各个过程中产生的电磁波模型,最后通过单元面叠加的方法验证了这一模型.在开关电容充电和膜桥下拉过程中,开关都是产生了电磁波脉冲.尤其是在充电阶段,电磁波峰值为105 A/m的量级,持续时间为3.15×10-8μs.而在开关电容放电过程中,产生的电磁波是时谐波,其频率为23.4 GHz(落在RF信号的频率范围内了).这就提醒了设计者们要增加特殊的滤波电路来过滤掉RF信号中噪声.此外,辐射的电磁波同样对开关周围的电路和器件有影响,这需要进一步的研究.

摘要： 电容式RF MEMS开关介质层电荷累积被认为是导致开关失效的主要原因.基于电容式RF MEMS开关工作过程中电场强度的变化,本文分析讨论了累积电荷的来源,并推导出相应的计算公式.对于随机性较大的界面极化问题,根据理论计算公式,提出从工艺上减小极化现象发生的解决方案.在讨论影响介质层电荷注入各种因素及相互之间关系的基础上,建立了基于电荷累积的开关寿命预测模型.

摘要： 信号处理与气密封装是电容式压力传感器设计的主要难题.本文提出一种新型的绝对压力传感器结构,利用倒装技术在基片上制作电路和柱状凸点,通过回流焊接将凸点和预先加工好的膜片封接在一起,实现气密封装和电路集成,并通过金属凸点完成电极的转移.测试结果表明传感器的性能良好,在灵敏度19fF/kPa的情况下获得了良好的线性.

摘要： 络筒机是织造准备中最重要的设备之一,而电子清纱器又是该机器的核心机构,直接影响纺纱性能.目前络筒机上使用的清纱器从原理上可分为电容式和光电式2类.文章分析了2类电子清纱器工作原理,并探讨了日本Keisokki公司生产的Tri Chord电子清纱器及其在ESPER0-M自动络筒机上的应用.Tri chord电子清纱器可同时使用3种传感器：电容式、光电式和MicroEye,优势互补,可有效检测出纱疵和异纤,应用范围广.

摘要： 络筒机是织造准备中最重要的设备之一,而电子清纱器又是该机器的核心机构,直接影响纺纱性能。目前络筒机上使用的清纱器从原理上可分为电容式和光电式两类。本文分析了两类电子清纱器工作原理,并探讨了一种日本Keisokki公司生产的Tri Chord电子清纱器及其在ESPERO—M自动络筒机上的应用。Tri Chord电子清纱器可同时使用三种传感器:电容式、光电式和Micro Eye,优势互补,可有效检测出纱疵和异纤,应用范围广。这为用户正确选择和使用清纱器提供参考。

摘要： @@2005年4月21日至24日,广西电力试验研究院有限公司(简称试研院)在对广西平果500kV变电站原岩平线CYT进行预防性试验的过程中,发现该CVT三相介损值与2004年预试数据比较均有明显增长,而且有的值已经超出预试规程的规定值。遂将该组CVT更换并将C相送至试研院高压大厅进行高压下介损及局部放电试验。

摘要： 阐明棉纱条干用表观粗细和物理质量表达的不同涵义及两者关系.分析条干不匀常用检测方法及仪器和发展趋势.论述电容式和光电式条干仪的特点和特性,指明在线检测的长处及发展方向.指出条干不匀分析必须按产品分析的要求CV％结合波谱图、曲线图、DR值等指标组合分析.提出条干优劣应有客观的考核标准和评定依据.

摘要： 一种触控芯片(260)，连接至一电容式触摸屏(20)，电容式触摸屏(20)包括多个驱动电极通道(Y)、多个感应电极通道(X)及一显示模组(220)，触控芯片(260)包括彼此电性连接的控制单元(261)、驱动电路(262)、感应电路(263)及多路复用单元(264)。控制单元(261)驱使感应电路(263)检测来自显示模组(220)的干扰信号，并对干扰信号进行频谱分析，选择出干扰信号最小强度值或与所述最小强度值相差小于一设定阈值的频点作为工作频点后，将此工作频点的信息发送给一应用于电容式触摸屏(20)的电容式主动笔(10)，电容式主动笔(10)依据此工作频点选择驱动频率。

摘要： 电容式传感器(20)和用于读取电容式传感器阵(2)的方法，其中，所述电容式传感器阵(2)具有多个分立的电极(4)，所述电极耦合到分立的引线(8)上。第一电极(41)的引线(8)被引导，使得所述引线与至少一个第二电极(42)电容式耦合。在第一引线(8)上检测第一信号(Cm1)，该第一引线与第一电极(41)耦合，并且在第二引线(8)上检测第二信号(Cm2)，该第二引线与第二电极(42)耦合。第一电极(41)或者第二电极(42)的电容(Cf1、Cf2)通过使用预定的计算公式来确定，该计算公式考虑第一信号(Cm1)、第二信号(Cm2)和在第二电极(4)与第一引线(8)之间的电容式耦合，该第一引线与第一电极(41)耦合。

摘要： 本发明涉及一种包括电容式感测单元的电容式指纹传感器。每一电容式感测单元包括一感测电极；一第一开关；一电压随耦器；及一参考电容器。该电压随耦器包括一可调式电流源，用以提供至少两个不同的电流准位；及一MOS晶体管。该MOS晶体管包括一源极节点，通过该可调式电流源连接至接地并作为该电压随耦器的一输出节点；一栅极节点，连接至该感测电极并作为该电压随耦器的一输入节点；一漏极节点，连接至一电源，用以提供电力于该电压随耦器；及一基极节点，连接至该源极节点。

摘要： 本发明提供一种电容式传感器、电容式传感装置和电子设备。所述电容式传感器包括：多个传感单元。所述传感单元包括感测电极、第一控制开关、和第二控制开关。所述第一控制开关与所述感测电极连接，用于控制是否传输激励信号给所述感测电极执行感测操作。所述第二控制开关与所述感测电极连接，用于控制是否传输第一参考信号给所述感测电极。绝缘基板，所述感测电极设置在绝缘基板的一侧表面，所述绝缘基板背向感测电极的另一侧表面用于触摸或接近输入。其中，所述第一控制开关与所述第二控制开关分时导通。所述电容式传感装置包括所述电容式传感器。所述电子设备包括所述电容式传感装置。

摘要： 一种触控芯片(260)，连接至一电容式触摸屏(20)，电容式触摸屏(20)包括多个驱动电极通道(Y)、多个感应电极通道(X)及一显示模组(220)，触控芯片(260)包括彼此电性连接的控制单元(261)、驱动电路(262)、感应电路(263)及多路复用单元(264)。控制单元(261)驱使感应电路(263)检测来自显示模组(220)的干扰信号，并对干扰信号进行频谱分析，选择出干扰信号最小强度值或与所述最小强度值相差小于一设定阈值的频点作为工作频点后，将此工作频点的信息发送给一应用于电容式触摸屏(20)的电容式主动笔(10)，电容式主动笔(10)依据此工作频点选择驱动频率。

摘要： 本发明提供一种储能单元，包括至少一个电容式储能器件、直流电压变换装置。该电容式储能器件包括至少一个meta‑电容器。电容式储能器件的输出电压为直流电压变换装置的输入电压。本发明还提供一种电容式储能模块和电容式储能系统。

摘要： 本发明涉及一种用于电容式传感器(1)的电容式传感器电极(2)，电容式传感器包括电极线(5)和细长的线载体(4)。电极线(5)在此围绕线载体(4)的纵轴线(10)环绕分布地在不同的径向位置上布置在线载体(4)的柱体周侧面(8)中，并且至少部分嵌入线载体(4)中。本发明此外涉及具有前述的传感器电极(2)的电容式传感器(1)和用于传感器电极(2)的制造方法。

摘要： 本案提供一种电容式传感器结构、具电容式传感器的电路板结构以及电容式传感器的封装结构，其电容式传感器结构主要包含：一基板；一多层导线结构，设置于该基板上而构成一无源感应电路；以及一半导体芯片，其上完成有一控制器电路，该半导体芯片固设于该基材表面并与该多层导线结构完成电性连接。

摘要： 电容式传感器(20)和用于读取电容式传感器阵(2)的方法，其中，所述电容式传感器阵(2)具有多个分立的电极(4)，所述电极耦合到分立的引线(8)上。第一电极(41)的引线(8)被引导，使得所述引线与至少一个第二电极(42)电容式耦合。在第一引线(8)上检测第一信号(Cm1)，该第一引线与第一电极(41)耦合，并且在第二引线(8)上检测第二信号(Cm2)，该第二引线与第二电极(42)耦合。第一电极(41)或者第二电极(42)的电容(Cf1、Cf2)通过使用预定的计算公式来确定，该计算公式考虑第一信号(Cm1)、第二信号(Cm2)和在第二电极(4)与第一引线(8)之间的电容式耦合，该第一引线与第一电极(41)耦合。

摘要： 本申请实施例提供了一种电容式传感装置和具有电容式传感装置的电子设备。电容式传感装置包括：封装基板；承载座，设置在封装基板上并具有承载面；电容式传感芯片，设置在承载座的承载面上并包括硅衬底和形成在硅衬底上的电容式传感器芯片器件层；电连接件，用于连接电容式传感芯片和封装基板，以及封装层，包覆电容式传感芯片和承载座并具有弧形上表面。封装层的弧形上表面的曲率、所述电容式传感芯片的曲率和所述承载座的承载面的曲率相匹配。本申请实施例电容式传感装置提供满足电子设备的大曲率外形需求的封装设计，并通过令电容式传感芯片上方充当传感介质的塑封层厚度保持稳定，以及提供更大的像素面，以保证采集信息的准确性。