微纳加工
微纳加工的相关文献在2003年到2023年内共计238篇,主要集中在无线电电子学、电信技术、物理学、一般工业技术
等领域,其中期刊论文86篇、会议论文14篇、专利文献920466篇;相关期刊64种,包括新技术新工艺、中国材料科技与设备、纳米科技等;
相关会议13种,包括第二届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会、第八届全国激光技术与光电子学学术会议、第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)等;微纳加工的相关文献由670位作者贡献,包括陈新、曾昭和、李永亮等。
微纳加工—发文量
专利文献>
论文:920466篇
占比:99.99%
总计:920566篇
微纳加工
-研究学者
- 陈新
- 曾昭和
- 李永亮
- 段辉高
- 汤晖
- 王晗
- 高健
- 贺云波
- 张揽宇
- 李仕明
- 李林蔚
- 杨志军
- 王斯琦
- 王渊博
- 白冲
- 雷雨
- 单武斌
- 张大卫
- 李宏城
- 王清月
- 王素娟
- 田延岭
- 胡小唐
- 邱迁
- 倪晓昌
- 刘子源
- 周明
- 张国雄
- 汪娟娟
- 王伟
- 王兆龙
- 胡跃强
- 詹东平
- 郭东明
- 陈云
- 高航
- 鲁从华
- 仇旻
- 何思丰
- 刘欢
- 刘鹏
- 吴立群
- 唐立虎
- 孙洪波
- 宋瑞良
- 宋跃
- 崔益民
- 巢炎
- 张为国
- 方绍熙
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廖嘉宁;
张东石;
李铸国
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摘要:
消费电子市场正推动柔性电子器件向集成化、小型化及可穿戴的方向发展,同时也对柔性电子器件的制备提出了新的要求。光刻工艺加工精度高,但其成本昂贵、加工流程复杂且效率低。相比而言,飞秒激光加工兼有加工精度高和工艺流程简单的特点,已展现在制备柔性电子器件方面的独特优势和应用前景。为了更好地了解这一新兴领域的进展,本文概述了与柔性电子器件制备相关的五种飞秒激光加工工艺机理,包括激光液相纳米材料合成、激光纳米材料还原、激光诱导纳米连接、激光电极图案化及激光表面织构化,并介绍了制备的典型柔性电子器件性能,对存在的问题和未来发展趋势进行了分析和展望。
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杨青;
成扬;
方政;
张嘉亮;
侯洵;
陈烽
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摘要:
仿猪笼草的超滑表面由于可以抵抗多种液体的粘附,具有优异的稳定性与自修复性,受到越来越广泛的关注。而飞秒激光由于其对加工材料的普适性、高精度,以及高可控性,成为仿生超滑表面制备的有力手段。本文以仿猪笼草的超滑表面为背景,以飞秒激光微加工技术为手段。从超滑表面的飞秒激光微纳制备和应用两个方面,概述了超滑表面的微纳制造和应用。针对不同材料,通过对飞秒激光进行调控,实现了在聚合物、硬脆透明材料,以及金属上的超滑表面制备。制备的超滑表面可应用于液滴、气泡操控、生物抗凝、防污和防腐等领域。最后总结超滑表面所面临的挑战。
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阳润恒;
安顺;
尚文;
邓涛
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摘要:
辐射制冷是一种通过光谱调控来实现降温的新型制冷技术,相比于传统的主动制冷技术,如吸收式制冷、压缩制冷等,具有独特的优势,在环境保护和能源利用方面具有重要意义.本文首先从辐射制冷的基本原理出发,介绍了自然界中生物所具有的辐射降温特性.不同生物通过其材料、微观结构、行为等实现辐射制冷调控,为人类探究新型辐射制冷材料和器件带来了启发.本文也归纳了生物的辐射制冷机制,总结了生物结构的优化方法,并介绍了当前仿生辐射制冷的研究进展,对仿生辐射制冷的研究方向、应用前景和材料制备方法进行了展望.高功率、智能化的辐射制冷材料和器件是未来仿生辐射制冷的重要发展方向,先进微纳加工技术的融入将使仿生辐射制冷在未来具有更广阔的市场和应用.
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李坤
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摘要:
近年来,行业性缺“芯”问题已成为政产学研各界关注的焦点,也是“卡脖子”领域里迫切需要面对与解决的问题。芯片制造工艺极其复杂,其核心技术涉及多种材料,高纯硅的制备、芯片的微纳加工以及集成电路的制造工艺就,是其中最主要的几个技术壁垒。为了突.破国外在半导体芯片相关技术领域对我国的长期封锁,这几年来科学家们发现了另一个特殊的材料——二维半导体材料,有希望能够实现“换道超车”。
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摘要:
北京光量科技有限公司,一直致力于高质量科研产品的推广和售后服务工作,在飞秒激光器、稳态瞬态光谱及成像、飞秒皮秒微纳加工等超快领域拥有专业、全套的解决设备及方案。公司目前主要代理的产品有:(1)一体化飞秒激光器、皮秒激光器、纳秒激光器、超连续白光光源、光学参量放大器(OPA);(2)科研级深度制冷CCD、sCMOS、ICCD、EMCCD/EMICCD、深度制冷InGaAs相机、高性能光栅光谱仪;(3)瞬态吸收、荧光上转换、TCSPC光谱系统、太赫兹时域光谱系统、一体化紫外可见近红外分光光度计、三级联显微拉曼光谱系统、便携式拉曼光谱仪以及相关光测量设备和元器件等。产品主要覆盖的应用领域有飞秒超快光谱技术、超分辨光学成像、飞秒微纳加工、燃烧、角分辨光电子能谱、阿秒科学、高次谐波、太赫兹、二维红外光谱、拉曼光谱、天文天体物理、多光子活体细胞成像等。
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周奇辉;
刘晨曦
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摘要:
提出了一种基于周期缺陷地结构的可集成毫米波加脊半模波导滤波器。该滤波器利用了波导的高通特性以及周期缺陷接地结构的宽带抑制特性,从而构建了有效的通带滤波器。测试表明,该滤波器的3 dB通带范围为39.4~45.4 GHz,中心频点为42.4 GHz,3 dB相对带宽为14.1%,带内最低插入损耗为2.4 dB,位于44.2 GHz,高频带外抑制在58 GHz达40 dB。该滤波器的横截面相比矩形波导滤波器减小了约64%,有利于电路小型化、集成化。随着5G通信向毫米波频段发展,这种小型化毫米波滤波器在5G通信中有着广阔的应用前景。
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麦满芳;
杜亮;
刘国华;
朱传云
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摘要:
开发了自制可视化光电化学微纳加工装置,对三电极体系中GaN表面的光电化学刻蚀进行研究。在酸性电解液中,光生空穴迁移到GaN/电解液的表界面,使得GaN表面发生氧化刻蚀反应。通过倒置光学显微镜连接CCD相机实时采集样品在刻蚀过程中的动态图像,观察反应的进程。通过扫描电子显微镜(SEM)对刻蚀后GaN的表面进行了表征。研究结果表明,在0.5V的刻蚀电压下GaN表面形成了多孔纳米结构。
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崔雪晴;
谢冉冉;
刘洪亮;
贾曰辰;
陈峰
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摘要:
作为三维超构材料的衍生物,具有亚波长厚度的人工超构表面结构能够在紧凑的平台上灵活操纵光与物质的相互作用,有利于多功能、超紧凑光子器件的研发,对于微纳光子学和集成光子学具有重要意义。铁电晶体铌酸锂凭借其跨越可见光至中红外波段的宽透明窗口以及较大的非线性光学、电光系数,被认为是最有前途的多功能集成光子平台之一。近年来,基于铌酸锂薄膜(lithium-niobate-on-insulator,LNOI)的集成光子学器件研究也得到了迅猛发展。本文总结了几种有潜力制备高质量铌酸锂超构表面的微纳加工技术,同时介绍了近年来铌酸锂超构表面结构的研究进展,并对其未来的研究方向进行了展望。
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王伟
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摘要:
使用激光加工技术在单晶硅片表面制备带有500μm通孔的硅基盖板。本文将带有圆形通孔的盖板覆盖石英基底后,使用聚焦离子束穿过圆形通孔聚焦于石英表面加工凹槽和凹坑结构,基于硅板的导电圈的导电特性可收集-扩散离子束溅射出的带电粒子,降低电荷积聚-放电的频率。试验结果显示被硅基盖板的圆形通孔环绕的石英表面的刻蚀结果与未被环绕的区域的刻蚀效果相比,凹槽与凹坑有显著改善,甚至部分刻蚀结果与单晶硅表面的刻蚀结果一致。
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姜玉婷;
张毅;
胡跃强;
郭晓明;
宋强;
段辉高
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摘要:
增强现实技术是一种将虚拟环境信息叠加在真实世界中并加以有效利用的一种新型显示技术,在教育、医疗、旅游、汽车、建筑等领域有广阔的应用前景.增强现实近眼显示设备是增强现实技术的重要组成部分,而光波导是实现增强现实近眼显示设备高性能与微型化等特性的核心光学元件.光波导主要分为几何光波导和衍射光波导,几何光波导原理简单,其制备技术较为完善并且可以实现量产,但视场角与出瞳范围较小、制备工艺复杂;衍射光波导则具有极高的设计自由度及优良的性能,但成像时存在的彩虹效应与色散等问题仍待解决.本文综述了不同类型光波导的设计和制备技术,分析了几何光波导和衍射光波导在原理、结构参数、性能评价和制备流程等方面的表现,最后总结了目前增强现实近眼显示技术所面临的挑战,并对未来的发展前景进行展望.
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刘润泽;
丁星;
贺煜;
何玉明;
陆朝阳;
潘建伟
- 《第十二届全国分子束外延学术会议》
| 2017年
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摘要:
量子信息,特别是量子计算是当今科技发展的热点领域之一,其中又以光学量子计算率先实现了超越早期经典计算机的计算能力.为了发展光学量子计算首先需要有高品质高亮度的量子光源.基于分子束外延生长的半导体自组装量子点作为可能实现量子计算的量子光源,既具有自旋自由度,又具有良好的光学性质,而且依靠半导体微纳加工工艺便于拓展和集成化,因此受到了广泛的关注.
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张彤;
张晓阳;
李若舟;
钱广;
唐杰;
吴静远
- 《全国第17次光纤通信暨第18届集成光学学术会议》
| 2015年
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摘要:
目前,微纳光学材料和器件技术领域的研究日新月异.集成光学器件技术、微纳加工技术、纳米材料技术及光学薄膜器件技术等学科的交叉和融合极大地推动了光电子技术研究的发展.在集成光学器件技术领域,光波导材料、器件研究和相应的应用研究均得到了长足的进步.在材料研究方面,从传统的二氧化硅、玻璃基材料,逐渐发展到半导体晶体材料和有机聚合物材料等新材料研究;在波导结构方面,从传统的微米尺度的光波导逐渐发展到高折射率差的亚波长光波导,再到全新原理的表面等离激元波导研究,使得集成光学器件已可实现突破光学衍射极限的纳米尺度光传输;在应用研究方面,集成光学器件在光通讯、光传感等众多领域实现了广泛的应用和发展,并拓展到生物、化学传感,光存储、成像和信息处理等众多领域.在新型的纳米光学材料,如具有表面等离子共振效应的各种金属纳米材料和具有光致发光效应的量子点材料等得到了广泛研究,并在成像、信息处理、传感、光伏等众多领域实现了应用.
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王雪敏;
沈昌乐;
蒋涛;
湛治强;
黎维华;
邓青华;
邹蕊矫;
彭丽萍;
王新明;
樊龙;
阎大伟;
赵妍;
吴卫东
- 《第十二届全国分子束外延学术会议》
| 2017年
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摘要:
太赫兹(THz)波是指频率从0.1THz到10THz,介于毫米波与红外光之间的电磁波,具有安全性、宽带性、指纹谱特性和穿透性等特点,在国家安全、航空航天、生物医学、材料科学等众多领域都有潜在的重大应用价值.太赫兹量子级联激光器(THz QCL)作为一种紧凑的、相干的固体连续辐太赫兹射源,其辐射频率可通过能带和波函数设计进行调控,具有响应速度快、体积小、便于集成等优点.本研究团体经过不断摸索与创新,在突破THz QCL有源区超高质量材料的制备、微纳器件加工、输出光束整形等技术的基础上,成功研制出2.5THz,2.9THz,3.1THz,和4.3THz太赫兹量子级联激光器。
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王雪敏;
沈昌乐;
蒋涛;
湛治强;
黎维华;
邓青华;
邹蕊矫;
彭丽萍;
王新明;
樊龙;
阎大伟;
赵妍;
吴卫东
- 《第十二届全国分子束外延学术会议》
| 2017年
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摘要:
太赫兹(THz)波是指频率从0.1THz到10THz,介于毫米波与红外光之间的电磁波,具有安全性、宽带性、指纹谱特性和穿透性等特点,在国家安全、航空航天、生物医学、材料科学等众多领域都有潜在的重大应用价值.太赫兹量子级联激光器(THz QCL)作为一种紧凑的、相干的固体连续辐太赫兹射源,其辐射频率可通过能带和波函数设计进行调控,具有响应速度快、体积小、便于集成等优点.本研究团体经过不断摸索与创新,在突破THz QCL有源区超高质量材料的制备、微纳器件加工、输出光束整形等技术的基础上,成功研制出2.5THz,2.9THz,3.1THz,和4.3THz太赫兹量子级联激光器。
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王雪敏;
沈昌乐;
蒋涛;
湛治强;
黎维华;
邓青华;
邹蕊矫;
彭丽萍;
王新明;
樊龙;
阎大伟;
赵妍;
吴卫东
- 《第十二届全国分子束外延学术会议》
| 2017年
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摘要:
太赫兹(THz)波是指频率从0.1THz到10THz,介于毫米波与红外光之间的电磁波,具有安全性、宽带性、指纹谱特性和穿透性等特点,在国家安全、航空航天、生物医学、材料科学等众多领域都有潜在的重大应用价值.太赫兹量子级联激光器(THz QCL)作为一种紧凑的、相干的固体连续辐太赫兹射源,其辐射频率可通过能带和波函数设计进行调控,具有响应速度快、体积小、便于集成等优点.本研究团体经过不断摸索与创新,在突破THz QCL有源区超高质量材料的制备、微纳器件加工、输出光束整形等技术的基础上,成功研制出2.5THz,2.9THz,3.1THz,和4.3THz太赫兹量子级联激光器。