微系统技术
微系统技术的相关文献在1990年到2022年内共计141篇,主要集中在无线电电子学、电信技术、自动化技术、计算机技术、机械、仪表工业
等领域,其中期刊论文131篇、会议论文7篇、专利文献3983436篇;相关期刊104种,包括全球科技经济瞭望、军民两用技术与产品、中国学术期刊文摘等;
相关会议7种,包括2013年电子信息前沿技术论坛、2007年中国国际表面贴装和微组装技术大会、2005第十一届全国可靠性物理学术讨论会等;微系统技术的相关文献由139位作者贡献,包括张光照、F·弗卢朗、L·奥雷等。
微系统技术—发文量
专利文献>
论文:3983436篇
占比:100.00%
总计:3983574篇
微系统技术
-研究学者
- 张光照
- F·弗卢朗
- L·奥雷
- L·菲约多
- 崔西会
- 徐艳国
- 本刊编辑部
- 范东华
- 高红卫
- Alexander Wolter
- AloisBuss
- Andreas Kenda
- Dr.ofSc.
- Heinrich Gruger
- Jorg Stolze
- Marco Feldmann
- Mark J. Jackson
- PetrR.Maltsev
- Professor
- Stephanus Büttgenbach
- Thomas Weisener
- Von Janecek
- XU Yan-guo
- 丁华生2
- 代刚
- 仲岩
- 何安平
- 何济川
- 信息产业部电子第五研究所
- 倪国新
- 冯长磊
- 刘万成
- 刘晓红
- 刘林发
- 刘永彪
- 刘波
- 刘静
- 卢川2
- 吴勤
- 吴宇列
- 吴曼青
- 吴波
- 吴鹏
- 周兆英1
- 姬宜朋
- 孔学东
- 孙毅
- 安燕
- 封松林
- 尤政
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张涛;
吴鹏;
胡培峰;
冯长磊
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摘要:
微系统技术在集成设计、特性评估方面存在诸多难题,以一款采用2.5D TSV、芯片堆叠技术的微系统陶瓷封装为研究对象,详细阐述了微系统封装方案设计、电学布局布线设计、热学设计以及电学、热学、力学仿真分析等内容,并介绍了如何针对仿真分析结果开展结构的优化设计,以获得更好的封装性能,对面向微系统集成的高可靠陶瓷封装设计与仿真具有指导性作用.
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摘要:
北京市未来芯片技术高精尖创新中心(以下简称“中心”)成立于2015年,是北京市教委首批认定的“北京高等学校高精尖创新中心”之一。中心发挥清华大学多学科优势,汇集了微电子与纳电子学系、精密仪器系、电子工程系、物理系、计算机科学与技术系、自动化系、材料学院和医学院等多院系、多学科的卓越人才,以芯片为核心,面向国际学术前沿研究和国家战略需求,不断探索跨学科交叉深度融合的研究模式。中心以服务国家创新驱动发展战略和北京市全国科技创新中心建设为出发点,致力于打造国家高层次人才梯队、全球开放型微米纳米技术支撑平台,聚焦具有颠覆性创新的关键器件、芯片及微系统技术,推动北京未来芯片产业实现跨越式发展。
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摘要:
北京市未来芯片技术高精尖创新中心(以下简称“中心”)成立于2015年,是北京市教委首批认定的“北京高等学校高精尖创新中心”之一。中心发挥清华大学多学科优势,汇集了微电子与纳电子学系、精密仪器系、电子工程系、物理系、计算机科学与技术系、自动化系、材料学院和医学院等多院系、多学科的卓越人才,以芯片为核心,面向国际学术前沿研究和国家战略需求,不断探索跨学科交叉深度融合的研究模式。中心以服务国家创新驱动发展战略和北京市全国科技创新中心建设为出发点,致力于打造国家高层次人才梯队、全球开放型微米纳米技术支撑平台,聚焦具有颠覆性创新的关键器件、芯片及微系统技术,推动北京未来芯片产业实现跨越式发展。
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摘要:
四十九所是世界五百强央企中国电子科技集团有限公司直属的国家级一类研究所,是国内唯一专门从事敏感元件、传感器与微系统技术研究和产品开发的综合型专业研究机构,是国家军用传感器的综合保障中心,现已形成由哈尔滨松北所区、南岗所区和北京光机电产业基地分布组成的,集基础研究、产品研发、产业开发为一体的“两地三处”发展格局。
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摘要:
四十九所是世界五百强央企中国电子科技集团有限公司直属的国家级一类研究所,是国内唯一专门从事敏感元件、传感器与微系统技术研究和产品开发的综合型专业研究机构,是国家军用传感器的综合保障中心,现已形成由哈尔滨松北所区、南岗所区和北京光机电产业基地分布组成的,集基础研究、产品研发、产业开发为一体的"两地三处"发展格局。
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摘要:
四十九所是世界五百强央企中国电子科技集团有限公司直属的国家级-类研究所,是国内唯一专门从事敏感元件、传感器与微系统技术研究和产品开发的综合型专业研究机构,是国家军用传感器的综合保障中心,现已形成由哈尔滨松北所区、南岗所区和北京光机电产业基地分布组成的,集基础研究、产品研发、产业开发为一体的“两地三处”发展格局。
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杨依宁;
刘万成
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摘要:
微系统技术是以微纳尺度理论为支撑,微集成工艺为基础,并通过功能模块集成,实现单一或多种用途融合的综合性前沿技术.应用微系统技术对加速光电系统性能的全面提升、有效降低成本具有重要意义.以2019年度微系统领域关键技术进展为基础,讨论目前光电领域微系统技术的难点问题,为该领域研究人员提供参考.
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摘要:
北京市未来芯片技术高精尖创新中心(以下简称“中心”)成立于2015年,是北京市教委首批认定的“北京高等学校高精尖创新中心”之一。中心发挥清华大学多学科优势,汇集了微电子与纳电子学系、精密仪器系、电子工程系、物理系、计算机科学与技术系、自动化系、材料学院和医学院等多院系、多学科的卓越人才,以芯片为核心,面向国际学术前沿研究和国家战略需求,不断探索跨学科交叉深度融合的研究模式。中心以服务国家创新驱动发展战略和北京市全国科技创新中心建设为出发点,致力于打造国家高层次人才梯队、全球开放型微米纳米技术支撑平台,聚焦具有颠覆性创新的关键器件、芯片及微系统技术,推动北京未来芯片产业实现跨越式发展。
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马福民;
王惠
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摘要:
电力电子产品系统逐渐向小型化、 高度集成化的方向发展,微系统汇集了多门学科技术的创新与突破,无论在军事还是民用领域已有广泛的应用.本文详述了国内外微系统技术的现状和发展趋势,其技术创新点在于多功能芯片一体化、智能传感、 异质集成、 堆叠式系统级封装技术的突破和新型半导体材料的应用;文末总结了微系统技术发展的意义,并提出展望.
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Von Janecek
- 《2007年中国国际表面贴装和微组装技术大会》
| 2007年
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摘要:
过去十多年来,微系统技术(MicroSystem-Technology/MST)已被证实是行业生存的基础。迄今为止,这个行业仍被汽车领域所主导,正促成对各种不同应用的大量需求,如用于发动机控制的压力传感器、针对约束系统应用或底盘控制的加速度传感器、用于车辆动力和翻车感测的偏航率传感器(yaw rate sensor)等等。
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本德·阿兰德
- 《第六届中国国际(上海)洁净技术论坛》
| 2003年
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摘要:
近些年来,洁净室技术在技术上和经济上都经历了快速的发展,这是其他经济领域所无法比拟的.自从约30年前,第一批洁净室用于制药医疗以来,洁净室技术百花齐放,洁净生产环境五彩缤纷.半导体工业用高标准洁净室以其高标准著称,成为最先进的洁净室类型,常常成为整个洁净技术发展的标志.因此,本文中不应忽略的情况是,目前的洁净室技术已进入工业生产与研究所、院校、科研设施的各个领域.在汽车工业、微系统技术、生物技术、表面技术及其他许多工业分支中,可以看到更多的多的例子.每一工业部门已开发出了适合于自己具体要求的洁净室技术,在这个过程中,其他工业部门的技术经验,在或大或小的程度上,得到了借用.比如,我们终于找到了微系统技术生产环境的某些技术性结论,而这也是因为受半导体工业之经验很大的影响所致.尽管微系统技术工业的要求没有半导体工业的要求那么高,但微系统工业洁净室的造价常常过高.此外,在表面技术与光学技术领域,至今人们仍在研究适合于自己的最佳生产环境类型,而这种类型必须完全适合于那些工业部门的要求——那些迄今还未找到理想的生产方式的工业部门.
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