吸气剂

摘要： 介绍了氩气的纯化工艺及技术研究进展。重点阐述吸附、催化及吸气剂技术在制备高纯及超纯氩中的作用,并对瓶装高纯及超纯氩气的充装进行了分析与探讨。

摘要： 微机电系统(MEMS)陀螺需要真空封装以确保其检测精度,晶圆级真空封装可以使MEMS微结构避免芯片切割过程中的粘连以及颗粒污染,提高芯片的成品率。为实现MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装,提出了一种全硅MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装结构方案,并突破了Si-SiO_(2)直接键合、吸气剂制备、金-硅(Au-Si)键合等关键技术,实现了MEMS芯片的晶圆级真空封装。Si-SiO_(2)直接键合和Au-Si共晶键合的剪切强度分别达到了56.5 MPa和35.5 MPa,表明晶圆级封装中晶圆键合强度满足晶圆级真空封装的需要。晶圆级真空封装实现陀螺仪谐振最大Q值为103879,对应的真空压力为2 Pa左右,陀螺仪芯片已达到MEMS陀螺工程化的需要。

摘要： 红外探测器杜瓦的真空可靠性对杜瓦正常工作有重大意义。若吸气剂激活后吸气能力下降,则杜瓦的长期真空可靠性存在风险。通过测试锆钒铁吸气剂在真空环境中的重复激活次数对吸气剂吸气效能的影响,获得了相应的吸气量与吸气速率变化数据。结果表明,随着重复激活次数的增加,吸气剂的饱和吸气总量无明显变化,且初始吸气速率略微提高,最后趋于稳定。实验结果可用于指导后续杜瓦封装工艺。

摘要： 杜瓦激活过程会引起探测器芯片温度过冲,导致芯片失效.通过仿真计算分析了吸气剂激活过程中产生的温度分布,研究了探测器芯片在杜瓦激活时温度升高过冲的主要传热途径,并提出了一种吸气剂挡板方案.试验结果表明,该方案可将激活过程中探测器芯片表面的最高温度由105 °C降至85 °C,解决了激活过程中探测器芯片的温度过冲问题.

摘要： 本专利介绍使用至少一种金属盐作为烧结助剂形成多晶压块的方法。这一方法可以包括形成至少一种金属盐和多个硬质材料颗粒的混合物,以及烧结该混合物以形成硬质多晶材料。在烧结过程中,金属盐可以熔化或与另一种化合物反应以形成液体,该液体用作润滑剂以促进硬质材料颗粒的重排和填充。因此,该金属盐能够形成具有增加的密度,耐磨性或强度的硬多晶材料。金属盐还可以在烧结过程中用作吸气剂以除去杂质(例如催化剂材料)。该方法也可用于形成切削元件和钻地工具。

摘要： 吸气剂是维持高真空必不可少的工具之一.在低温容器中本文将其归纳为三类:第一类只有物理吸附,低温容器中常用到的有活性炭、5A分子筛等;第二类既有物理吸附又发生化学反应,例如载Ag、Pd型分子筛等;第三类只发生了化学反应,常见到的有PdO、CuO、PtO和AgO等.本文对比了三类吸气剂的吸附性能,总结出了针对不同吸附质和吸附条件下选择不同的吸气剂.也为后续吸气剂在低温容器全寿命周期内维持高真空研究提供了依据.

摘要： 利用等离子体电弧熔炼技术制备TiZr3 V6合金材料.采用SEM、EDS、XRD等分析手段,研究了TiZr3 V6的微观组织及相组成.结果表明:TiZr3 V6合金是由树枝状V基固溶体相、ZrV2相和α-Zr相组成,合金吸氢饱和后由V16 Zr8 H36.29、VH2.01和ZrH1.801三种氢化物相组成,并粉化成颗粒状,颗粒表面存在大量的微裂纹.

摘要： 激光陀螺谐振腔内部的工作气体纯度直接影响陀螺的光功率输出,吸气剂作为激光陀螺内部维持气体纯度的关键部件,是决定激光陀螺光功率长期稳定性的关键因素.针对激光陀螺对吸气剂的使用需求,提出了一种含振动冲击筛选与质谱检测等手段相结合的综合检测方法,并通过实验对吸气剂的结构强度、吸气性能与激活条件进行了分析.实验结果表明,该方法能够有效地判断某种吸气剂选型是否满足激光陀螺的使用要求,为激光陀螺吸气剂的选择提供指导.

摘要： 为推进真空绝热板(VIPs)在船舶冷藏集装箱中的应用,以多孔介质与VIPs内气体混合物之间的吸附机制研制吸气剂.根据船用玻璃纤维芯材VIPs内主要混合物(水蒸气、 乙烯、 丙烯和氢气)的吸附特点,选择比表面积约1900 m2/g的椰壳活性炭SAC-02和膨胀石墨,应用溶液浸渍法,由丙酮和硝酸镍对活性炭进行表面担载金属改性,并通过正交实验设计,确定导热系数最小时的活性炭/膨胀石墨复合吸气剂制备方案.结果表明,最佳制备方案为:可膨胀石墨的膨胀温度为800°C;膨胀时间为50 s;活性炭与膨胀石墨质量混合比为1:4;成型压力9 MPa.在0°C 、0～500 Pa压力范围内,与当前在用的吸气剂JMU-01相比,由最佳方案制备的吸气剂JMU-02至少可获得11.47％ 乙烯、10.65％ 丙烯和3.87％ 氢气的总吸附量增量.基于碳基材料的船用玻璃纤维芯材VIPs吸气剂具有良好应用前景.

摘要： 研究了吸气剂对电子特气氢、氩气纯化的基本原理,着重叙述了吸气剂的机工艺流程，采用两个吸附反应器对原料气进行纯化，每个吸附反应塔都内装有高效脱氧干燥剂，可以深度脱除气体重的氧、水、CO2,碱等杂质，吸附剂吸附饱和后可加热通氢使其再生，两个吸附器全自动交替工作、再生，可以实现连续产气，吸气剂纯化器大幅度提高气体指标、保障产气纯度的效果.

摘要： 本文介绍了目前行波管所使用的锆-石墨、锆-锫钒铁、钼-钛吸气剂，以及近年来使用吸气剂所发现的问题，同时介绍了应用于行波管吸气剂的新技术及发展趋势。

摘要： 除气是吸气剂产品生产的关键环节,为了优化除气工艺做过不同形式的技术探讨.rn 在用质谱进行这方面探讨中、初步得到了比较清晰的数据结果,为日后进一步工作做了准备.本文简要介绍这方面情况并进行有关讨论.

摘要： 本文简介了快速测试管内钡膜吸气性能的原理、装置和方法。36小时以内的测试周期,大大缩短了信息反馈时间,这是一种更快速度的"加速寿试"。文中还介绍了这种测试方法在比较不同厂家生产的吸气剂的吸气性能优劣、"寿试下架管"内钡膜剩余吸气能力测量及客观地评价各条生产线工程能力利用率的合理性以及在管子寿终机理分析等方面的应用实例。能够连续显示并同时输出管内GR值及对应真空度(P)变化的《彩显管通用含气系数测试仪》的研制成功,为本项测试提供了可能;一套测试数据自动采集、贮存和处理软件系统的建立,使得测试精度和智能化水平大大提高。本项测试在国内尚属首创;国际上仅见到意大利SAES吸气剂公司有相关报道。

摘要： 本文论述了影响真空玻璃寿命的主要因素,通过试验验证高温烘烤排气及置入吸气剂是真空玻璃使用寿命的可靠保证.

摘要： 采用独立设计组装的磁控溅射装置完成了对不锈钢管道的镀TiZrV薄膜处理。对TiZrV薄膜的相关性能包括二次电子产额(SEY)、光致解吸(PSD)产额和吸气性能进行了研究。在200°C下加热2h后TiZrV的SEY有所下降，峰值由2.03降到1.55。不锈钢真空室在镀TiZrV薄膜处理后其PSD效应显著降低，在200°C下加热24h后，各气体的PSD产额与初始值相比可降低两个量级左右。TiZrV薄膜对CO和H2有较好的吸气效果，相同激活条件下对CO的抽速比H2高一个量级，吸气容量则较之低两个量级;另外，随着加热温度的提高和时间的延长，其吸气能力会有所提高。

摘要： 保真空强流电子束二极管能够脱离市电维持一定的真空水平,它具有很大的应用前景。本文给出了保真空二极管的设计思路。通过对真空室进行除气处理和采用高容量吸气剂,研制出了紧凑的保真空强流二极管。该二极管在采用陶瓷-金属的情况下保真空时间超过半年,在使用高分子塑料绝缘的情况下保真空时间仍可超过10小时。

摘要： 锆在超硬材料行业中应用，主要简述锆金属材料的物理性能和特点、锆在制造金刚石、立方氮化硼复合片中作为锆杯基体的吸气作用。

摘要： 锆在超硬材料行业中应用，主要简述锆金属材料的物理性能和特点、锆在制造金刚石、立方氮化硼复合片中作为锆杯基体的吸气作用。

摘要： 锆在超硬材料行业中应用，主要简述锆金属材料的物理性能和特点、锆在制造金刚石、立方氮化硼复合片中作为锆杯基体的吸气作用。

摘要： 本申请提出一种Pd/Ti双层吸气剂薄膜的制备方法和Pd/Ti双层吸气剂薄膜，该方法包括在获取最低本底压强时进行蒸发镀膜，采用45A的第一沉积电流，在200摄氏度～300摄氏度之间的第一沉积温度，在60分钟～90分钟之内的第一沉积时间升华Ti金属丝，从而向被镀表面沉积Ti元素，形成底层薄膜；在完成向被镀表面沉积Ti元素的同时，采用45A的第二沉积电流，在100摄氏度～180摄氏度之间的第二沉积温度，20分钟的第二沉积时间升华Pd金属丝，从而向底层薄膜沉积Pd元素，在底层薄膜的表面形成表层薄膜。能够在制备Pd/Ti双层吸气剂薄膜时避免破坏超高真空，从而兼顾了超高真空的维持和Pd/Ti双层吸气剂薄膜的低激活温度，辅助提升制备设备的泵送速度，提升Pd/Ti双层吸气剂薄膜的制备效果。

摘要： 本发明属真空技术领域，特别涉及一种内加热型吸气剂元件和大抽速吸气剂泵。本发明内加热型吸气剂元件内部为加热丝，外部吸气剂材料，外观呈多层塔状结构，以充分增大吸气剂材料的表面积，获得高的吸气速率。吸气剂材料采用注射成型技术一次成型制造，结构牢固，使用安全。本发明大抽速吸气剂泵由内加热型吸气元件与金属外壳构成。金属外壳一端设有内焊法兰泵口；另一端设置金属盲板泵底，金属盲板泵底上焊接有绝缘电极，绝缘电极内侧与吸气剂元件的加热丝引线连接，外侧则供吸气剂元件通电激活时与电源设备连接。本发明大抽速吸气剂泵整体结构设计合理，使用安全便捷，抽气效率高，适用于各类真空设备内部真空度的有效提高或长期无源维持。

摘要： 公开了由一种或更多种吸气剂材料的沉积物组成的吸气剂体系，其中至少一种所述沉积物与具有H2O输送性能的材料层接触。

摘要： 本申请提出一种Pd/Ti双层吸气剂薄膜的制备方法和Pd/Ti双层吸气剂薄膜，该方法包括在获取最低本底压强时进行蒸发镀膜，采用45A的第一沉积电流，在200摄氏度～300摄氏度之间的第一沉积温度，在60分钟～90分钟之内的第一沉积时间升华Ti金属丝，从而向被镀表面沉积Ti元素，形成底层薄膜；在完成向被镀表面沉积Ti元素的同时，采用45A的第二沉积电流，在100摄氏度～180摄氏度之间的第二沉积温度，20分钟的第二沉积时间升华Pd金属丝，从而向底层薄膜沉积Pd元素，在底层薄膜的表面形成表层薄膜。能够在制备Pd/Ti双层吸气剂薄膜时避免破坏超高真空，从而兼顾了超高真空的维持和Pd/Ti双层吸气剂薄膜的低激活温度，辅助提升制备设备的泵送速度，提升Pd/Ti双层吸气剂薄膜的制备效果。

摘要： 本发明涉及吸气剂制备技术领域，具体涉及一种利用AMAT PVD腔体制备吸气剂的方法及其薄膜吸气剂，包括如下步骤：步骤1、配备清洗硅片的腐蚀溶液，其中腐蚀溶液主要由NAOH和异丙醇溶液制成，备用；步骤2、将硅片按顺序依次放入丙酮、酒精和超纯水中，依次进行超声清洗，备用；步骤3、将步骤2清洗完成后的硅片放入步骤1已经配制好的腐蚀溶液中浸泡，在85‑95°C的温度下加热50min；步骤4、将步骤3浸泡完毕后的硅片用超纯水进行超声清洗，完成后用甩干机进行甩干；步骤5、将步骤4清洗甩干后的硅片放入PVD设备中进行工艺处理，且PVD设备工艺腔内安装好的合金靶材成分为ZR‑CO‑RE；实现了用AMAT PVD设备生产薄膜吸气剂的可行性；由此可以解决量产薄膜吸气剂的需求。

摘要： 本发明公开了一种堆叠式吸气剂片泵芯及其吸气剂泵，包括若干组吸气剂片、若干组吸气剂片隔垫、加热棒和封盖，所述吸气剂片和吸气剂片隔垫均套接在加热棒上，且吸气剂片隔垫位于相邻吸气剂片之间，所述加热棒底部套接有陶瓷绝缘柱，所述加热棒顶端固定有固定垫片；所述加热棒底部两侧分别焊接有第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极底部从陶瓷垫片上对应的圆孔伸出后分别与对应的不锈钢垫片连接；所述封盖底部连接有两组接线柱，所述不锈钢垫片套在对应的接线柱上并通过螺母锁紧固定。本发明的吸气剂泵是由多孔烧结型吸气剂片组成，具备极大的抽速，可设计成多组并联的吸气剂泵，增大吸气剂的抽速，维持和提高系统的真空度。

摘要： 本发明公开了一种防止吸气剂掉落颗粒的方法，包括如下步骤：S1：向粉体的端面上与导体的连接处喷涂加固涂层，所述导体贯穿所述粉体；S2：使喷涂的所述加固涂层固化。本发明向粉体的端面上与导体的连接处喷涂加固涂层，并使喷涂的加固涂层固化，从而对粉体的端面形成加固，防止粉体的端面与导体的连接处脱落颗粒。另外，还会向残留在导体上的残留粉体喷涂加固涂层，以进一步防止脱落颗粒。加固涂层具体地可以为低放气量的保护胶、纳米银浆或金属涂层。本发明还公开了一种吸气剂与加固涂层组件。

摘要： 本发明属真空技术领域，特别涉及一种内加热型吸气剂元件和大抽速吸气剂泵。本发明内加热型吸气剂元件内部为加热丝，外部吸气剂材料，外观呈多层塔状结构，以充分增大吸气剂材料的表面积，获得高的吸气速率。吸气剂材料采用注射成型技术一次成型制造，结构牢固，使用安全。本发明大抽速吸气剂泵由内加热型吸气元件与金属外壳构成。金属外壳一端设有内焊法兰泵口；另一端设置金属盲板泵底，金属盲板泵底上焊接有绝缘电极，绝缘电极内侧与吸气剂元件的加热丝引线连接，外侧则供吸气剂元件通电激活时与电源设备连接。本发明大抽速吸气剂泵整体结构设计合理，使用安全便捷，抽气效率高，适用于各类真空设备内部真空度的有效提高或长期无源维持。

摘要： 一种超高真空吸气剂泵，包括吸气剂片、电加热器和结构连接件；电加热器设有封闭的壳体；吸气剂片直接连接在电加热器的壳体外壁上，或者，吸气剂片通过导热结构连接在电加热器的壳体外壁上；连接结构包括真空法兰；真空法兰的中间位置开有通孔，电加热器的尾端自真空法兰的一侧面穿过该通孔，并且，电加热器的壳体外壁与该通孔内壁焊接密封；在真空法兰的另一侧面设有电连接器。一种超高真空大抽速吸气剂泵，包括金属外壳和至少2个上述的超高真空吸气剂泵；各个超真空吸气剂泵并列连接；金属外壳的一端开口，该开口端焊接有真空法兰；金属外壳上的真空法兰与超高真空吸气剂泵上的真空法兰紧密连接；金属外壳的侧壁上开有连接口，该连接口的向外延长段上设有法兰接口。

摘要： 本实用新型属真空技术领域，特别涉及一种内加热型吸气剂元件和大抽速吸气剂泵。本实用新型内加热型吸气剂元件内部为加热丝，外部吸气剂材料，外观呈多层塔状结构，以充分增大吸气剂材料的表面积，获得高的吸气速率。吸气剂材料采用注射成型技术一次成型制造。本实用新型大抽速吸气剂泵由内加热型吸气元件与金属外壳构成。金属外壳一端设有内焊法兰泵口；另一端设置金属盲板泵底，金属盲板泵底上焊接有绝缘电极，绝缘电极内侧与吸气剂元件的加热丝引线连接，外侧则供吸气剂元件通电激活时与电源设备连接。本实用新型大抽速吸气剂泵整体结构设计合理，使用安全便捷，抽气效率高，适用于各类真空设备内部真空度的有效提高或长期无源维持。