公开/公告号EP3944288A8
专利类型
公开/公告日2022-03-09
原文格式PDF
申请/专利号EP20200773287
发明设计人 ITO FUYUMA;YOSHIMIZU YASUHITO;KUGE NOBUHITO;KAGI YUI;OBATA SUSUMU;MATSUO KEIICHIRO;SANO MITSUO;
申请日2020-03-10
分类号H01L21/02;H01L21/306;H01L27/11582;H01L21/336;H01L29/788;H01L29/792;C30B29/06;C30B29/20;C30B29/36;
国家 EP
入库时间 2022-08-24 23:47:40