机译:确定清洁构件清洁性的方法,确定污染物的吸附特性的方法,污染物清洁构件的吸附特性,用于确定基板清洁度的方法,用于确定基板清洁度的程序,以及确定清洁过程结束点的程序
公开/公告号US2021384881A1
专利类型
公开/公告日2021-12-09
原文格式PDF
申请/专利权人 EBARA CORPORATION;
申请/专利号US202117323700
申请日2021-05-18
分类号H03H3/02;B08B3/08;B08B1;H03H9/215;
国家 US
入库时间 2022-08-24 22:42:28