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METHOD FOR PRODUCING A CRYSTALLINE LAYER IN A III-N COMPOUND BY VAN DER WAALS EPITAXY FROM GRAPHENE

机译:通过van der Waals从石墨烯外延产生III-N化合物中的结晶层的方法

摘要

The invention relates to a method for manufacturing a layer of interest (3) in a III-N crystalline compound by epitaxy from a layer of graphene (2), characterized in that it comprises, prior to a phase of nucleation of the layer of interest (3), a step of thermal treatment of the layer of graphene (2) in which it is subjected to a first temperature (Ttt) no lower than 1050° C. and to a stream of ammonia.
机译:本发明涉及通过外延由石墨烯(2)的外延在III-N结晶化合物中制造一种感兴趣层(3)的方法,其特征在于它在感兴趣层的成核的相位之前(3),将其对其进行第一温度(2)的热处理步骤,其中将其进行第一温度(T tt )不低于1050℃并呈氨流。

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