首页> 外国专利> GROWTH OF AL_XGA_1-XAS, AL_0.5IN_0.5P, AND AL_XGA_(0.5-X)IN_0.5P BY HYDRIDE VAPOR PHASE EPITAXY USING AN EXTERNAL ALCL₃GENERATOR

GROWTH OF AL_XGA_1-XAS, AL_0.5IN_0.5P, AND AL_XGA_(0.5-X)IN_0.5P BY HYDRIDE VAPOR PHASE EPITAXY USING AN EXTERNAL ALCL₃GENERATOR

机译：Al _{x ga _{1-x AS，Al _{0.5 在_{0.5 p，和Al _{x使用外部ALCL _{3 发电机，通过氢化物气相外延氢化物液相外延，（0.5-x ）中的_{（0.5-x ）}}}}}}}

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Disclosed herein is the controlled epitaxy of Al_xGa_1-xAs, Al_xIn_1-xP, and Al_xGa_yIn_1-x-yP by hydride vapor phase epitaxy (HVPE) through use of an external AlCl₃ generator.

机译：本文公开了Al _{x Ga _{1-x / sub>中的控制外延，Al _{x 在_{1-x p中和通过使用外部ALCL _{3，和Al _{x Ga _{y _{y 在_{1-x / sub> p中的 y 发电机。}}}}}}}}}

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公开/公告号WO2021067603A1

专利类型
公开/公告日2021-04-08

原文格式PDF
申请/专利权人 ALLIANCE FOR SUSTAINABLE ENERGY LLC;
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申请/专利号WO2020US53812
发明设计人 METAFERIA WONDWOSEN TILAHUN;SCHULTE KEVIN LOUIS;PTAK AARON JOSEPH;SIMON JOHN DAVID;
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申请日2020-10-01
分类号C30B25/14;C30B29/16;C30B29/40;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:09:18

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