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Fabrication of multi-level graded photonic super-crystals

机译:多级分级光子超级晶体的制造

摘要

Direct pixel-by-pixel phase engineering in a SLM is an effective method for the holographic fabrication of graded photonic super-quasi-crystals with desired disorder and graded photonic super-crystals with rectangular unit-cells. Multiple levels of filling fractions of dielectric in the crystal have been created in the graded regions. Fabrication of these graded photonic super-crystals and super-quasi-crystals with small feature size is possible, using a laser projection system consisting of integrated spatial light modulator and reflective optical element.
机译:SLM中的直接像素逐个阶段工程是具有矩形单元 - 细胞的所需病症和渐变光子超晶体的渐变光子超准晶体的全息制造的有效方法。在分级区域中产生了晶体中电介质的多级填充级分。使用由集成的空间光调制器和反射光学元件组成的激光投影系统,可以制造这些分级光子超晶体和具有小特征尺寸的超级晶体。

著录项

  • 公开/公告号US10964916B2

    专利类型

  • 公开/公告日2021-03-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 UNIVERSITY OF NORTH TEXAS;

    申请/专利号US201916508377

  • 发明设计人 YUANKUN LIN;DAVID LOWELL;SAFAA HASSAN;

    申请日2019-07-11

  • 分类号H01L51/52;G02B1;H01L51/56;H01L51;G03F7/20;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-24 17:57:59

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