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alcohol gas sensor

机译:酒精气体传感器

摘要

The alcohol gas sensor according to the present invention includes: a gate insulating film on which a gate electrode is formed and a metal oxide layer formed on one surface of the gate insulating film; A source electrode and a drain electrode formed on the metal oxide layer and spaced apart from each other; And a silicon-based polymer layer formed on the metal oxide layer, the source electrode, and the drain electrode, wherein the polymer of the silicon-based polymer layer includes structural units represented by Chemical Formulas 1 and 2 below. [Formula 1] [Formula 2] [In Formula 1 and Formula 2, R 1 is C 1 -C 4 alkyl; L is a divalent linking group; R 2 is cyano; R 3 is C 1 -C 4 alkyl; R 4 is C 6 -C 20 aryl, The molar ratio of x and y is 1:9 to 9:1.]
机译:根据本发明的醇气体传感器包括:栅极绝缘膜,在该栅极绝缘膜,在该栅极绝缘膜上形成栅电极,并形成在栅极绝缘膜的一个表面上的金属氧化物层;源电极和形成在金属氧化物层上的漏极,彼此间​​隔开;在金属氧化物层,源电极和漏电极上形成硅基聚合物层,其中硅基聚合物层的聚合物包括由下面的化学式1和2表示的结构单元。 [式1] [式2] [式1和式2中,R 1 是C 1 -C 4 烷基; L是二价键; R 2 是ysano; R 3 是c 1 -c 4 烷基; R 4 是c 6 -c 20 芳基,X和Y的摩尔比为1:9至9:1。]

著录项

  • 公开/公告号KR102224235B1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-03-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR1020190122739

  • 申请日2019-10-04

  • 分类号G01N27/407;C08G77;C08G77/26;C08L83/08;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-24 17:33:48

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