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机译：具有用于参考光束和测量光束的公共路径的干涉仪（公共路径干涉仪）
公开/公告号DE2300958A1
专利类型
公开/公告日1974-07-11
原文格式PDF
申请/专利权人 BATH KARL-LUDWIG DIPL.-PHYS. 7809 BUCHHOLZ;
申请/专利号DE19732300958
发明设计人 BATH KARL-LUDWIG DIPL.-PHYS. 7809 BUCHHOLZ;
申请日1973-01-10
分类号G01B9/02;G01M11/02;
国家 DE
入库时间 2022-08-23 05:24:21
机译： 带有信号检测器的外差式双干涉仪-在公共路径上通过参考光束和测量光束并补偿系统误差
机译： 集成光学检测器，用于检测光束光路的变化-使用波导形成测量光束和参考光束，并使用波导将干涉仪连接到分束器
机译： 干涉仪距离和距离变化确定-涉及使用测量和参考激光束和普通光电探测器
