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Denshikannoseijushino seizohoho

机译：电kan世seのushi声zo

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摘要

An electron sensitive resin comprising a random polymer of ethylene glycol methacrylate with triethylene glycol dimethacrylate, randomly crosslinked, and having a degree of polymerization of from 10 to 1000, is described.

机译：描述了一种电子敏感性树脂，其包含甲基丙烯酸乙二醇酯和三甲基丙烯酸二乙二醇酯的无规聚合物，无规交联并且聚合度为10至1000。

著录项

公开/公告号JPS5170292A

专利类型
公开/公告日1976-06-17

原文格式PDF
申请/专利权人 THOMSON CSF;
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申请/专利号JP19750134612
发明设计人 JAN KUROODO DEYUBUWA;PIEERU RUKUREERU;
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申请日1975-11-08
分类号C08F8/00;C08F265/06;G03F7/039;H01L21/027;
国家 JP
入库时间 2022-08-23 03:16:12

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