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机译:检测并去除许多圆形缺陷的金属层内层电路板缺陷的毛刺检测方法
公开/公告号JPS584998A
专利类型
公开/公告日1983-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI KASEI KOGYO KK;
申请/专利号JP19810102966
发明设计人 MURATA MIZUHO;WATANABE HIROSHI;NITSUTA NORIYUKI;
申请日1981-06-30
分类号H05K3/46;H05K3/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 11:34:56
机译: 非金属层状材料,例如硅板,缺陷检测方法,用于生产例如硅太阳能电池,涉及为分层材料提供热流,以进行缺陷的热成像检测
机译: 通过防止金属线刻蚀过程的铝横向层的投影型缺陷来限制沉积后处理过程中链缺陷的生长的方法
机译: 分层结构缺陷的检测方法及用于检测分层结构缺陷的机器