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laserinterferometer to interferometrischen length measurement

机译：激光干涉仪到干涉仪的长度测量

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摘要

in a laserinterferometer to interferometrischen length feeds a halbleiterlaser (1) a meßinterferometer (7), a spatially directly neighbouring referenzinterferometer (9) is assigned.the output signal o

机译：在激光干涉仪中，将干涉仪的长度馈入halbleiterlaser（1），meß干涉仪（7），在空间上直接相邻的参考干涉仪（9）。

著录项

公开/公告号JPH02502498A

专利类型
公开/公告日1990-08-09

原文格式PDF
申请/专利权人
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申请/专利号JP19880501282
发明设计人
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申请日1988-01-25
分类号G11C17/12;H01L27/112;H01L27/118;H03K19/177;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 06:22:05

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