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机译:光刻胶废液自动处理设备
公开/公告号KR920013033A
专利类型
公开/公告日1992-07-28
原文格式PDF
申请/专利权人 김광호;
申请/专利号KR19900021686
发明设计人 윤명식;박영호;유재문;한승교;
申请日1990-12-24
分类号G03F7/26;
国家 KR
入库时间 2022-08-22 05:28:09
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