公开/公告号JPH04370641A
专利类型
公开/公告日1992-12-24
原文格式PDF
申请/专利权人 NISSIN ELECTRIC CO LTD;
申请/专利号JP19910147359
发明设计人 KUMAZAKI HIRONORI;
申请日1991-06-19
分类号C23C14/48;C23C14/54;G21K5/04;H01J37/04;H01J37/22;H01J37/317;H01L21/265;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 05:14:35