公开/公告号DE4200193A1
专利类型
公开/公告日1993-07-08
原文格式PDF
申请/专利号DE19924200193
发明设计人 HEILMANN ANDREAS DR.RER.NAT. O-9061 CHEMNITZ DE;HAMANN CLAUS PROF.DR.SC.NAT. O-9081 CHEMNITZ DE;ENDRES HANNS-ERIK DR.-ING. 8000 MUENCHEN DE;
申请日1992-01-07
分类号H01L21/20;H01L21/335;H01L21/322;C08F2/52;H01L21/3205;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 05:01:25