机译:导电膜厚度非接触式测量系统-在基板的相对侧具有感应传感器,用于产生顺序的相互吸引和排斥的交流磁场,从而在膜中产生涡流效应以进行比较
公开/公告号DE4227735A1
专利类型
公开/公告日1994-02-24
原文格式PDF
申请/专利权人 LEYBOLD AG 63450 HANAU DE;
申请/专利号DE19924227735
申请日1992-08-21
分类号G01B21/08;G01B7/06;G01N27/72;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 04:36:07