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机译:电子元器件的实施例的简要说明在体系结构中具有源极,漏极和栅极自对准元素
公开/公告号FR2810157B1
专利类型
公开/公告日2002-08-16
原文格式PDF
申请/专利权人 COMMISSARIAT A LENERGIE ATOMIQUE;
申请/专利号FR20000007419
发明设计人 DELEONIBUS SIMON;
申请日2000-06-09
分类号H01L21/336;
国家 FR
入库时间 2022-08-22 00:24:29
机译: 用锦缎自对准源,漏和栅的电子元件的制造方法-技术
机译: 具有自对准的源极漏极和栅极的电子组件的制造包括在伪栅极的任一侧上形成的源极和漏极的自对准硅化
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