机译:用于形成压电振动片的光掩模,使用该压电振动片制造压电振动片的方法以及使用压电振动片的压电装置,使用压电装置和电子设备的便携式电话
公开/公告号JP2003198299A
专利类型
公开/公告日2003-07-11
原文格式PDF
申请/专利权人 SEIKO EPSON CORP;
申请/专利号JP20010398527
申请日2001-12-27
分类号H03H3/02;H01L21/66;H01L41/09;H01L41/22;H03H9/02;H03H9/215;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 00:20:05