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Wafer level package, wafer level packaging procedure for making wafer level package

机译:晶圆级封装,用于制造晶圆级封装的晶圆级封装程序

摘要

A wafer level packaging procedure provides a wafer having a pad mounting surface with bonding pads on the pad mounting surface. An insulative layer is formed with conductor formation holes exposing the bonding pads. Conductors are formed in the respective conductor formation holes. A photoresist protective layer is formed on the pad mounting surface and then holes are formed in the photoresist protective layer for exposing parts of the respective conductors. Conductive bumps are formed in the holes in the photoresist protective layer in electric connection to the respective conductors.
机译:晶片级封装程序提供了具有垫安装表面的晶片,在垫安装表面上具有接合垫。绝缘层形成有露出接合焊盘的导体形成孔。在各个导体形成孔中形成导体。在焊盘安装表面上形成光致抗蚀剂保护层,然后在光致抗蚀剂保护层中形成孔以暴露各个导体的一部分。在与相应导体电连接的光致抗蚀剂保护层中的孔中形成导电凸块。

著录项

  • 公开/公告号US2004217473A1

    专利类型

  • 公开/公告日2004-11-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SHEN YU-NUNG;

    申请/专利号US20040833149

  • 发明设计人 YU-NUNG SHEN;

    申请日2004-04-28

  • 分类号H01L21/44;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 23:20:44

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