机译:使用感兴趣区域支持的图像校正的椭偏测量涉及校正第二个图像,以便在两个图像中的ROI位置和/或形状重合,处理相应的图像点/区域以生成结果图像
公开/公告号DE102004012125B3
专利类型
公开/公告日2005-09-01
原文格式PDF
申请/专利权人 NANOFILM TECHNOLOGIE GMBH;
申请/专利号DE20041012125
发明设计人 HOENIG DIRK;STURM KAI;
申请日2004-03-12
分类号G01J4/04;G01N21/21;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 22:00:52