机译:平面物体例如微电子电路,用于物体表征的测量方法,涉及分析反射的激发光束偏振,以测量方位角的光束,并使用参数表征模型物体
公开/公告号FR2880129A1
专利类型
公开/公告日2006-06-30
原文格式PDF
申请/专利权人 ECOLE POLYTECHNIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE ADMINISTRATIF;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE;
申请/专利号FR20040053231
申请日2004-12-24
分类号G01R31/311;G01B11;
国家 FR
入库时间 2022-08-21 21:17:17