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机译:气体使用点调节器
公开/公告号US2009188571A1
专利类型
公开/公告日2009-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 CHRISTIAN BASLER;
申请/专利号US20090358433
发明设计人 CHRISTIAN BASLER;
申请日2009-01-23
分类号F16K31/12;
国家 US
入库时间 2022-08-21 19:34:24
机译: 用于半导体结构制造的混合气的使用点富集以及用于提供混合气的使用点富集的系统
机译: 用于半导体结构制造的混合气的使用点富集和用于提供混合气的使用点富集的系统
机译: 用于点气处理的装置和方法